特許
J-GLOBAL ID：201503012278780520

感光性転写材料、パターン形成方法およびエッチング方法

発明者：
佐藤 守正

佐藤 守正 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-260818
公開番号（公開出願番号）：特開2015-118202
出願日： 2013年12月18日
公開日（公表日）： 2015年06月25日
要約：
【課題】ポジ型であって、耐熱矩形性に優れ、耐エッチャント性に優れ、レジスト剥離性に優れ、加工時の発塵が少ない感光性転写材料の提供。【解決手段】支持体と、感光性樹脂組成物層とを有し、前記感光性樹脂組成物層が(A)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位(a1)を有する重合体を含む重合体成分および(B)光酸発生剤を含み、前記感光性樹脂組成物がエチレン性架橋構造を有さない感光性転写材料。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
支持体と、感光性樹脂組成物層とを有し、 前記感光性樹脂組成物層が(A)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位(a1)を有する重合体を含む重合体成分および(B)光酸発生剤を含み、 前記感光性樹脂組成物がエチレン性架橋構造を有さないことを特徴とする感光性転写材料。
IPC (7件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08F 12/22 ,  C08F 20/26 ,  C08G 8/10 ,  C08G 8/36
FI (8件)：
G03F7/004 512 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F12/22 ,  C08F20/26 ,  C08G8/10 ,  C08G8/36
Fターム (80件)：
2H125AC34 ,  2H125AC64 ,  2H125AD38 ,  2H125AE06P ,  2H125AF03P ,  2H125AF52P ,  2H125AF53P ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AJ04X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ48X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AK12 ,  2H125AM16P ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AM45N ,  2H125AM80P ,  2H125AN29P ,  2H125AN33P ,  2H125AN39P ,  2H125AN61P ,  2H125AN71P ,  2H125AN88P ,  2H125BA05P ,  2H125BA11P ,  2H125BA13P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC13 ,  2H125CC15 ,  2H125CC21 ,  2H125CD20P ,  2H125CD31 ,  4J033CA02 ,  4J033CA12 ,  4J033CA42 ,  4J033CB03 ,  4J033CC08 ,  4J033CD04 ,  4J033HA12 ,  4J033HA28 ,  4J033HB10 ,  4J100AB02R ,  4J100AB03R ,  4J100AB04R ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AJ02S ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AM02R ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA12R ,  4J100BA15R ,  4J100BC09R ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43R ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100DA05 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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