特許
J-GLOBAL ID：201503021106350230
サンプル検査とレビューのためのシステム及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-505840
公開番号（公開出願番号）：特表2015-513111
出願日： 2013年04月08日
公開日（公表日）： 2015年04月30日
要約：
本開示は、サンプル検査とレビューのためのシステム及び方法に関する。一部の実施形態では、画質を向上させるため、画像が収集され、及び/又は個別に指定可能な、赤色、緑色および青色(RGB)の照明光源を用いて、欠陥が特定される。一部の実施形態では、照明光源は、サンプルの可変動作の存在で実質的に一定な光度に対して、パルス幅変調である。一部の実施形態では、ステージ組立体は、サンプルの支持面へのアクセスを妨げることなく、サンプルを支持するよう構成され、さらに、サンプルの振動または搖動を低減するよう構成される。一部の実施形態では、照明システムには、全視野における画像焦点調整を可能にする撮像パス及び焦点調節パスが含まれる。
請求項（抜粋）：
赤色、緑色及び青色の照明でサンプルの表面を連続で照らすよう構成された1つ以上の照明光源と、前記1つ以上の照明光源による連続照明に応答して、サンプルの表面から反射された照明を受け取るよう構成された1つ以上の単色検出器とを含む検査モジュールと、
前記サンプルの前記表面を照らすよう構成された1つ以上の照明光源と、前記1つ以上の照明光源による前記照明に応答して、前記サンプルの前記表面から反射された照明を受け取るよう構成された1つ以上の検出器とを含むレビュー・モジュールと、
前記検査モジュール及び前記レビュー・モジュールと通信する少なくとも1つのコンピューティング・システムであって、前記検査モジュールの前記1つ以上の単色検出器によって受け取られた前記照明に関連付けられた情報を用いて、前記サンプルの欠陥の位置を決定するよう構成され、かつ、前記レビュー・モジュールの前記1つ以上の検出器と前記欠陥の前記決定された位置を用いて、前記欠陥を含む前記サンプルの前記表面の一部の画像を収集するようさらに構成されたコンピューティング・システムとを含む、サンプルを分析するシステム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051AC02
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051BB05
, 2G051BC01
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051CD10
, 2G051DA05
, 2G051EA12
, 2G051EA17
