特許
J-GLOBAL ID：201803012600867087
走査電子顕微鏡を利用した検査システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
, 松永 宣行
, 辻 徹二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-112191
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251262
特許番号：特許第6288951号
出願日： 2013年05月28日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子ビームを利用して検査対象物である平板表示装置を検査し、真空状態を維持する走査電子顕微鏡チャンバと、
前記走査電子顕微鏡チャンバに取り付けられており、前記検査対象物に光を照射して前記検査対象物を検査する光学顕微鏡と、
前記走査電子顕微鏡チャンバ及び前記光学顕微鏡と離隔して下方に位置し、前記検査対象物を載せるステージと、
前記走査電子顕微鏡チャンバ及び前記光学顕微鏡を、前記ステージ上でX軸、Y軸、およびZ軸方向に一体的に移送させる移送装置と、
メンブレンのパーティクル検査およびパーティクル除去を実行するメンブレンパーティクル検査および除去装置と、
を含み、
前記走査電子顕微鏡チャンバは、前記検査対象物に対向して配置されているメンブレンを含み、
前記走査電子顕微鏡チャンバと前記検査対象物の間は大気状態の雰囲気を維持し、
前記走査電子顕微鏡チャンバは、
真空チャンバ部と、
前記真空チャンバ部の内部に位置し、前記検査対象物に電子ビームを走査する走査電子顕微鏡と、
前記真空チャンバ部の内部に位置し、前記検査対象物から発生する検出信号を検出する信号検出器と、
を含み、
前記信号検出器は、
前記検査対象物から発生する二次電子を検出する二次電子検出器と、
前記検査対象物から発生する後方散乱電子を検出する後方散乱電子検出器と、
前記検査対象物から発生する特性X線を検出する特性X線検出器と、
を含む、走査電子顕微鏡を利用した検査システム。
IPC (5件)：
H01J 37/18 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
, H01J 37/244 ( 200 6.01)
, H01J 37/20 ( 200 6.01)
, H01J 37/09 ( 200 6.01)
H01J 37/18
, H01J 37/28 B
, H01J 37/244
, H01J 37/20 D
, H01J 37/09 Z
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (14件)
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