特許
J-GLOBAL ID：201203058558386370
拡大観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
豊栖 康司
, 豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-152536
公開番号（公開出願番号）：特開2012-015029
出願日： 2010年07月02日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：
【課題】同一の表示サイズでの光学画像と電子顕微鏡画像の取得作業を容易にする。【解決手段】試料室21内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段11と、試料室21内の光学画像を取得可能な光学系撮像手段12と、一方の観察手段の光軸の方向を、他方の観察手段の光軸の方向と略一致させるように各観察手段を移動可能な移動手段と、電子線撮像手段11で取得された電子顕微鏡画像と、光学系撮像手段12で取得された光学画像を、切り替えて、又は同時に表示するための表示手段と、電子線撮像手段11又は光学系撮像手段12のいずれか一方で取得された画像の倍率を認識し、該画像と略同一の表示サイズの画像を他方の観察手段で取得するための倍率を、他方の観察手段の基準に基づく倍率に換算するための倍率換算手段111とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
複数の観察手段を備える拡大観察装置であって、
内部空間で減圧可能な試料室と、
第一の観察手段として、前記試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、
前記電子線撮像手段で取得される電子顕微鏡画像の電子顕微鏡倍率を調整するための電子顕微鏡倍率調整手段と、
第二の観察手段として、前記試料室内の光学画像を取得可能な光学系撮像手段と、
前記光学系撮像手段で取得される光学画像の倍率であって、電子顕微鏡倍率と異なる基準で決定される光学倍率を調整するための光学倍率調整手段と、
一方の観察手段の光軸の方向を、他方の観察手段の光軸の方向と略一致させるように各観察手段を移動可能な移動手段と、
前記電子線撮像手段で取得された電子顕微鏡画像と、前記光学系撮像手段で取得された光学画像を、切り替えて、又は同時に表示するための表示手段と、
前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれか一方で取得された画像の倍率を認識し、該画像と略同一の表示サイズの画像を他方の観察手段で取得するための倍率を、他方の観察手段の基準に基づく倍率に換算するための倍率換算手段と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。
IPC (4件)：
H01J 37/28
, H01J 37/22
, H01J 37/16
, G02B 21/00
H01J37/28 B
, H01J37/22 502D
, H01J37/22 502A
, H01J37/16
, G02B21/00
2H052AF10
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF24
, 5C033UU06
, 5C033UU10
出願人引用 (18件)
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審査官引用 (23件)
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