窒化処理方法及び窒化処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-043161
公開番号（公開出願番号）：特開2018-111884
出願日： 2018年03月09日
公開日（公表日）： 2018年07月19日
要約：

【課題】工具や金型などの処理対象物の表面に、鉄等の窒素化合物層が形成されることによる表面の曇り、表面粗さの増加、摩擦係数の上昇、離型性の低下等の問題が生じ難く、また、スリット(微細な構造)を持つ工具や金型においても、狭いスリットの内面を均一に処理することが可能になる窒化処理方法を提供する。【解決手段】窒素を含むガスに電子ビーム29又はマイクロ波を照射して生成する窒素原子を含むプラズマ31を用いて窒化処理を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：