特許
J-GLOBAL ID：202003012525261974

硬質研磨粒子を用いない硬質材料研磨

発明者：
シング,ラジヴ,ケー.

シング,ラジヴ,ケー. について

, 
アージュナン,アルル,チャッカラヴァルシ

アージュナン,アルル,チャッカラヴァルシ について

, 
シング,ディーピカ

シング,ディーピカ について

, 
ギンデ,チャイタニヤ

ギンデ,チャイタニヤ について

, 
ジャワリ,プニート

ジャワリ,プニート について


出願人/特許権者：
シンマット,インコーポレーテッド

シンマット,インコーポレーテッド について

, 
ユニヴァーシティ オブ フロリダ リサーチ ファウンデーション,インコーポレーテッド

ユニヴァーシティ オブ フロリダ リサーチ ファウンデーション,インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人平田国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-567975
公開番号（公開出願番号）：特表2020-527851
出願日： 2018年07月10日
公開日（公表日）： 2020年09月10日
要約：
pH値が1〜5又は8〜11であり、濃度が0.01M〜2.0Mである1種類以上の過化合物酸化剤と、緩衝剤なしでpHを9.0から3.0に変えるための強酸の量に対し、pHを9.0から3.0に下げるのに必要な強酸の量を比較した値である緩衝比を1.5以上とする1種類以上の緩衝剤とを含むスラリー溶液を用意することを含むCMP方法を提供する。スラリー溶液は、硬質のスラリー粒子を含まない、又は、全体にビッカース硬度が300Kg/mm2未満又はモース硬度が4未満である軟質のスラリー粒子のみを有する。スラリー溶液は、ビッカース硬度が1,000Kg/mm2より大きい硬質表面上に滴下され、硬質表面に対して研磨パッドを回転させながら、スラリー溶液を間に挟んで研磨パッドで押圧する。
請求項（抜粋）：
水性溶媒と、 濃度が0.01M〜2.0Mである少なくとも1種類の過化合物酸化剤と、 1〜5又は8〜11のpH値と、 前記過化合物酸化剤とは異なる緩衝剤であって、前記スラリー溶液が前記緩衝剤を含まない場合の前記pH値を9.0から3.0に変化させるのに必要な前記強酸の量に対し、前記水性溶媒と前記過化合物酸化剤を含むスラリー溶液中に前記緩衝剤が含まれる場合の前記pH値を9.0から3.0に下げるのに必要な強酸の量を比較した値である緩衝比を、1.5以上とする少なくとも1種類の緩衝剤を含み、 前記スラリー溶液は、硬質のスラリー粒子を含まない、又は、全体にビッカース硬度が300Kg/mm2未満又はモース硬度が4未満である軟質のスラリー粒子のみを有することを特徴とする、化学機械研磨(CMP)用スラリー。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B24B 37/24
FI (3件)：
H01L21/304 622D ,  B24B37/00 H ,  B24B37/24 B
Fターム (26件)：
3C158AA07 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158CB03 ,  3C158CB10 ,  3C158DA12 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158EB20 ,  3C158ED02 ,  3C158ED22 ,  3C158ED26 ,  5F057AA06 ,  5F057AA14 ,  5F057BA12 ,  5F057BB06 ,  5F057BB09 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA02 ,  5F057EA10 ,  5F057EA22 ,  5F057EA26 ,  5F057EA27 ,  5F057EA32
引用特許：
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM