特許
J-GLOBAL ID：202003018099585188
物体搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体搬送方法、及び露光方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-510091
特許番号：特許第6712411号
出願日： 2016年03月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 物体を支持可能な支持面を有する支持部へ、前記物体を搬送する物体搬送装置において、
前記物体とは異なる別の物体が支持された前記支持面の上方で前記物体を保持する第1保持部と、
前記第1保持部に保持された前記物体の一部を保持する第2保持部と、
前記支持面上の前記別の物体を搬出する搬出装置と、
前記第1および第2保持部により前記物体が保持された状態から、前記第1保持部による前記物体の保持を解除するよう、前記第1保持部を前記支持面の上方から退避させる第1駆動部と、
前記物体を保持した前記第2保持部を、前記搬出装置により前記別の物体が搬出された前記支持面に前記物体が支持されるように下方へ移動させる第2駆動部と、
前記第1および第2駆動部を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記搬出装置による前記支持面からの前記別の物体の搬出動作と少なくとも一部並行して、前記第1保持部を前記支持面の上方から退避させる物体搬送装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, B65G 49/06 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
G03F 7/20 501
, B65G 49/06 A
, H01L 21/68 A
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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