特許
J-GLOBAL ID：202103004203621627

検査装置及び加工装置

発明者：
下田 誠

下田 誠 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 清水 貴光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-044145
公開番号（公開出願番号）：特開2021-143990
出願日： 2020年03月13日
公開日（公表日）： 2021年09月24日
要約：
【課題】欠陥を速やかに検知する検査装置及び加工装置を提供する。【解決手段】研削装置は、ワークWを吸着保持した状態で回転可能なチャックテーブル3と、ワークWを加工する研削砥石と、加工中のワークに対して欠陥検査を行う検査装置と、を備えている。検査装置は、カメラ41と、ワークWとの相対速度を減らすようにカメラ41の視野を走査させるミラー42と、カメラ41の撮影画像と予め記憶された欠陥を有しないワークWの基準画像とを比較して、加工中のワークWに欠陥が発生したか否かを判定する判定手段と、を備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
加工中のワークに対して欠陥検査を行う検査装置であって、 撮影手段と、 前記ワークとの相対速度を減らすように前記撮影手段の視野を走査させる視野走査手段と、 前記撮影手段の撮影画像と予め記憶された欠陥を有しない前記ワークの基準画像とを比較して、前記加工中のワークに欠陥が発生したか否かを判定する判定手段と、 を備えていることを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/95 ,  H01L 21/304 ,  B24B 49/12 ,  B23Q 17/24
FI (4件)：
G01N21/95 Z ,  H01L21/304 631 ,  B24B49/12 ,  B23Q17/24 A
Fターム (31件)：
2G051AA51 ,  2G051AB03 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051DA08 ,  2G051ED11 ,  3C029CC02 ,  3C034AA08 ,  3C034BB73 ,  3C034CA05 ,  3C034CA22 ,  3C034DD18 ,  3C043BA03 ,  3C043CC04 ,  3C043DD02 ,  3C043DD04 ,  3C043DD06 ,  5F057AA05 ,  5F057AA20 ,  5F057AA32 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057CA14 ,  5F057CA36 ,  5F057DA08 ,  5F057DA11 ,  5F057EB15 ,  5F057GB02 ,  5F057GB18
引用特許：
審査官引用 (13件)
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