特許
J-GLOBAL ID：201403001158662797

ウェーハの形状測定装置

発明者：
平山 勇一

平山 勇一 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-236483
公開番号（公開出願番号）：特開2014-085295
出願日： 2012年10月26日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：
【課題】ウェーハのノッチ部の研削条痕を視認できるウェーハの形状測定装置を提供する。【解決手段】形状測定装置70によれば、ウェーハWのノッチ部Nに、LED照明装置74からの光をウェーハWの主面PSに対して平行な方向から照射する。そして、前記光によって照明されたウェーハWのノッチ部Nと主面PSとをウェーハWの主面PSに対して直交する方向から上面用CCDカメラ76、及び下面用CCDカメラ78によって撮像する。そして、上面用CCDカメラ76、及び下面用CCDカメラ78によって撮像された明部と暗部とを有する画像のうち明部の画像をノッチ部Nの画像として抽出し、ノッチ部Nの形状を取得する。また、LED照明装置74からノッチ部Nの直線部の任意点に入射する光のうち、任意点に対して円弧状部の側に入射する光であって、入射角が5度以上の光を遮光する遮光板を備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ウェーハの外周部に備えられたノッチ部の形状を測定するウェーハの形状測定装置において、 前記ウェーハの前記ノッチ部に、ウェーハの主面に対して平行な方向から光を照射するとともに前記ノッチ部の開口幅よりも広い範囲に光を照射する照明手段と、 前記照明手段から照射された光によって照明された前記ウェーハの前記ノッチ部と前記主面とを前記ウェーハの主面に対して直交する方向から撮像する撮像手段と、 前記撮像手段によって撮像された明部と暗部とを有する画像のうち前記明部の画像を前記ノッチ部の画像として抽出し、前記明部の画像を画像処理する画像処理手段と、を備え、 前記ノッチ部は、前記ウェーハの外周部に各々の一端部が連結される両側の直線部と、前記両側の直線部の各々の他端部が連結される円弧状部とからなるU字形状に形成され、 前記照明手段から前記ノッチ部の前記直線部の任意点に入射する光のうち、前記任意点に対して前記円弧状部の側に入射する光であって、入射角が5度以上の光を遮光する遮光手段が備えられていることを特徴とするウェーハの形状測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
G01B11/24 K ,  G01N21/956 A ,  H01L21/66 J ,  H01L21/68 F
Fターム (48件)：
2F065AA21 ,  2F065AA25 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG15 ,  2F065GG21 ,  2F065HH02 ,  2F065HH11 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL28 ,  2F065LL49 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065UU01 ,  2G051AA51 ,  2G051AB05 ,  2G051BA04 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA08 ,  2G051CB01 ,  2G051EA16 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  5F131AA02 ,  5F131BA39 ,  5F131CA69 ,  5F131EA24 ,  5F131KA14 ,  5F131KA17 ,  5F131KA47 ,  5F131KA63 ,  5F131KB04
引用特許：
審査官引用 (13件)
  • 形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-024453   出願人：株式会社コベルコ科研
  • ウエハの形状認識装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-216139   出願人：東芝セラミックス株式会社
  • ディスク外周部検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-140837   出願人：株式会社神戸製鋼所
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