特許

J-GLOBAL ID：202303021332903627

プラズマ窒化装置およびプラズマ窒化方法

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発明者： 西本 明生 ,  濱島 隼
出願人/特許権者： 学校法人 関西大学
代理人 (1件)： 弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2022-138242
公開番号（公開出願番号）：特開2023-168191
出願日： 2022年08月31日
公開日（公表日）： 2023年11月24日
要約：

【課題】低温窒化処理において、拡張相の膜を従来よりも迅速に形成する。 【解決手段】プラズマ窒化装置(1)は、ステンレス鋼材(2)の付近に配置されたニッケル製のスクリーン(37)と、ステンレス鋼材(2)およびスクリーン(37)に陰極が電気的に接続された直流電源(43)と、を備える。 【選択図】図1

請求項（抜粋）：

鋼材に対しプラズマ窒化処理を施すプラズマ窒化装置であって、 前記鋼材の付近に配置されたスクリーンと、 前記鋼材および前記スクリーンに陰極が電気的に接続された直流電源と、を備え、 前記鋼材はステンレス鋼材であり、 前記スクリーンは、ニッケルまたはニッケル基合金によって形成されたものである、プラズマ窒化装置。

IPC (1件)：

C23C 8/38

FI (1件)：

C23C8/38

Fターム (3件)：

4K028BA02 ,  4K028BA12 ,  4K028BA21

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 窒化ステンレス鋼材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-346139   出願人：日新製鋼株式会社
• 耐食耐摩耗部材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-193730   出願人：株式会社豊田中央研究所

審査官引用 (2件)

• ポストプラズマを用いる窒化方法および窒化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-177389   出願人：韓国生産技術研究院
• プラズマ窒化方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2019-025309   出願人：中日本炉工業株式会社, 公益財団法人名古屋産業振興公社

引用文献：

審査官引用 (2件)

• Ni coating on 316L stainless steel using cage plasma treatment
• アクティブスクリーンプラズマ窒化に及ぼすニッケルスクリーンの影響