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J-GLOBAL ID：200903001477963570

基板搬送方法およびその装置

Inventor：
渡辺 仁

About 渡辺 仁


Applicant, Patent owner：
カシオ計算機株式会社

About カシオ計算機株式会社


Agent (1)： 花輪 義男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001271465
Publication number (International publication number)：2003086651
Application date： Sep. 07, 2001
Publication date： Mar. 20, 2003
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 レジストが塗布されたガラス基板をプリベークユニットに搬送するための基板搬送アームの不要な温度上昇に起因するレジストパターニング不良を防止する。【解決手段】 スピンコータからなるレジスト塗布ユニット21でガラス基板35上にレジストを塗布し、レジスト塗布後のガラス基板35を平面ほぼコ字状の基板搬送アーム23の両アーム部31上に吸着させてプリベークユニット22に搬送する。このとき、基板搬送アーム23の両アーム部31はプリベークユニット22内に進入し、加熱される。そこで、待機位置に戻った基板搬送アーム23に冷却ユニット24から冷風を吹き付け、基板搬送アーム23の温度を室温まで下げる。
Claim (excerpt)：
前工程を経た基板を基板搬送アームで加熱を含む後工程に搬送する基板搬送方法において、前記基板搬送アームを冷却することを特徴とする基板搬送方法。
IPC (5)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/027
FI (7)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 C ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/30 502 H ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 566
F-Term (16)：
2H088EA68 ,  2H088FA17 ,  2H088HA01 ,  2H088HA08 ,  2H088MA20 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA37 ,  5F031MA26 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046DA26 ,  5F046JA04 ,  5F046JA22 ,  5F046KA04 ,  5F046KA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
  • 基板処理方法および基板搬送装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-286288   Applicant：株式会社日立製作所
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-248215   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板搬送装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-249918   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
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