TFT基板及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊藤充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005005637
Publication number (International publication number)：2006195086
Application date： Jan. 12, 2005
Publication date： Jul. 27, 2006
Summary：

【課題】特定の金属を含有する透明導電材料を画素電極、透明電極に使用することにより、TFT(薄膜トランジスタ)基板の製造方法を簡略化する。【解決手段】表示装置に用いられるTFT基板であって、透明基板と、前記透明基板上に設けられ、前記表示装置の画素を制御する画素電極と、前記透明基板上に設けられ、前記画素電極を駆動する薄膜トランジスタと、を備え、前記薄膜トランジスタは、少なくとも、Alゲート電極と、ゲート絶縁膜と、第1の半導体層と、第2の半導体層と、Alソース・ドレイン電極と、を含み、前記画素電極は、前記Alゲート電極及び/又は前記Alソース・ドレイン電極と直接接合し、当該画素電極が、酸化亜鉛を主成分とする導電性酸化物よりなることを特徴とするTFT基板である。バリヤーメタルを設けていないので、製造工程を簡略化することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

表示装置に用いられるTFT基板であって、透明基板と、前記透明基板上に設けられ、前記表示装置の画素を制御する画素電極と、前記透明基板上に設けられ、前記画素電極を駆動する薄膜トランジスタと、を備え、前記薄膜トランジスタは、少なくとも、Alゲート電極と、ゲート絶縁膜と、第1の半導体層と、第2の半導体層と、Alソース・ドレイン電極と、を含み、前記画素電極は、前記Alゲート電極及び/又は前記Alソース・ドレイン電極と直接接合し、当該画素電極が、酸化亜鉛を主成分とする導電性酸化物よりなることを特徴とするTFT基板。

IPC (7)：

G09F 9/30 , G02F 1/134 , G02F 1/136 , H01B 5/14 , H01B 13/00 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (10)：

G09F9/30 339Z , G09F9/30 338 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , H01B5/14 A , H01B5/14 B , H01B13/00 503B , H01B13/00 503D , H01L29/78 616V , H01L29/78 612D

F-Term (52)：

2H092HA03 , 2H092JA24 , 2H092KA17 , 2H092KB13 , 2H092NA27 , 5C094AA02 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094EA04 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5F110AA03 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE03 , 5F110EE06 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG24 , 5F110GG45 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110HK25 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HM18 , 5F110NN02 , 5F110NN14 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110QQ01 , 5F110QQ05 , 5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FC03 , 5G323BA02 , 5G323BB05 , 5G323BC03 , 5G323CA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (21)

特開昭63-184726号公報
TFT基板、それを用いた液晶表示装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-200710 Applicant：出光興産株式会社
表示デバイスおよびその製法、ならびにスパッタリングターゲット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-274288 Applicant：株式会社神戸製鋼所

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Cited by examiner (7)

液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-142768 Applicant：出光興産株式会社
透明導電膜およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-209193 Applicant：大日本印刷株式会社
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-298993 Applicant：株式会社日立製作所

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