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J-GLOBAL ID:200903006110670650
酸感応性化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鍬田 充生
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999135623
Publication number (International publication number):2000136165
Application date: May. 17, 1999
Publication date: May. 16, 2000
Summary:
【要約】【課題】 耐エッチング液性が高く、光照射により可溶化できるフォトレジスト用樹脂組成物により微細なパターンを形成する。【解決手段】 フォトレジスト用樹脂組成物は、下記式で表される酸感応性化合物の単位(アダマンタン骨格など)を有する重合体と、光酸発生剤とで構成されている。R1は、1-位に第3炭素原子を有するアルキル基であってもよく、環Zは、2〜4の環を含む架橋環式炭化水素環である。【化1】(式中、R1およびR2は、同一又は異なって、水素原子、アルキル基又はシクロアルキル基、R3は水素原子又はメチル基、R4は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、酸素含有基、アミノ基、又はN-置換アミノ基、環Zは単環又は多環式脂環族炭化水素環、nは1以上の整数を示す。但し、R4は同時に水素原子ではなく、nによって異なっていてもよい。式(1)において、R1又はR2は隣接する炭素原子とともに脂環式炭化水素環を形成してもよい。)
Claim (excerpt):
下記式(1)又は(2)【化1】(式中、R1およびR2は、同一又は異なって、水素原子、アルキル基又はシクロアルキル基、R3は水素原子又はメチル基、R4は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、酸素含有基、アミノ基又はN-置換アミノ基、nは1以上の整数を示す。但し、R4は同時に水素原子ではなく、nによって異なっていてもよい。環Zは単環又は多環式脂環族炭化水素環を示す。式(1)において、R1又はR2は隣接する炭素原子とともに脂環式炭化水素環を形成してもよい。)で表される酸感応性化合物。
IPC (7):
C07C 69/54
, C07C 69/732
, C08F 20/28
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
FI (8):
C07C 69/54 Z
, C07C 69/54 B
, C07C 69/732 Z
, C08F 20/28
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (8)
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感光性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-156962
Applicant:株式会社東芝
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感光性高分子化合物及びこれを含むフォトレジスト組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-208947
Applicant:三星電子株式会社
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有橋環式炭化水素アルコール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-144280
Applicant:日本電気株式会社
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放射線感光材料及びパターン形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-338112
Applicant:富士通株式会社
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放射線感光材料及びパターン形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-276597
Applicant:富士通株式会社
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感光性材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-185046
Applicant:株式会社東芝
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放射線感光材料及びそれを用いたパターン形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-282664
Applicant:ダイセル化学工業株式会社
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ポジ型レジスト組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-120919
Applicant:富士写真フイルム株式会社
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Cited by examiner (10)
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感光性組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-156962
Applicant:株式会社東芝
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感光性高分子化合物及びこれを含むフォトレジスト組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-208947
Applicant:三星電子株式会社
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有橋環式炭化水素アルコール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-144280
Applicant:日本電気株式会社
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Article cited by the Patent:
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