ウエーハの加工装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：小野尚純 , 奥貫佐知子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003396961
Publication number (International publication number)：2005153090
Application date： Nov. 27, 2003
Publication date： Jun. 16, 2005
Summary：

【課題】ウエーハを研削手段によって研削するとともに、研削されたウエーハの加工面に適正な研磨加工を施す研磨手段を備えたウエーハの加工装置を提供する。【解決手段】回動可能に配設されたターンテーブル3と、ターンテーブルに配設されウエーハを保持するチャックテーブル4と、該ウエーハを研削する研削手段8、80と、該ウエーハの研削面を研磨する多目的研磨手段10とを具備している。多目的研磨手段は、研磨工具を着脱可能に装着するマウンターと、マウンターを回転せしめるスピンドルユニットと、スピンドルユニットをチャックテーブルの保持面に垂直な方向および保持面に平行な方向に移動可能に支持するスピンドルユニット支持手段と、スピンドルユニットを移動せしめる研磨送り手段とを具備している。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

回動可能に配設されたターンテーブルと、該ターンテーブルに配設されウエーハを保持する保持面を備えた複数のチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、該チャックテーブルに保持され該研削手段によって研削されたウエーハの研削面を研磨する多目的研磨手段と、を具備し、該多目的研磨手段は、研磨工具を着脱可能に装着するマウンターと、該マウンターを回転せしめるスピンドルユニットと、該スピンドルユニットを該チャックテーブルの該保持面に垂直な方向および該スピンドルユニットを該チャックテーブルの該保持面に平行な方向に移動可能に支持するスピンドルユニット支持手段と、該スピンドルユニットを該チャックテーブルの該保持面に対して垂直な方向に移動せしめる第1の研磨送り手段と、該スピンドルユニットを該チャックテーブルの該保持面に対して平行な方向に移動せしめる第2の研磨送り手段と、を具備している、ことを特徴とするウエーハの加工装置。

IPC (3)：

B24B37/04 , B24B7/24 , H01L21/304

FI (3)：

B24B37/04 Z , B24B7/24 E , H01L21/304 621B

F-Term (10)：

3C043BB00 , 3C043CC04 , 3C043CC12 , 3C058AA07 , 3C058AA14 , 3C058AB03 , 3C058AB08 , 3C058CB08 , 3C058DA17 , 3C058DB07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

平面加工装置及び平面加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-321432 Applicant：株式会社東京精密

Cited by examiner (11)

研磨装置及びこれを含んだ研削・研磨機
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-093398 Applicant：株式会社ディスコ
工作装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-193769 Applicant：日特エンジニアリング株式会社
研磨装置および研磨方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-068586 Applicant：キヤノン株式会社

研磨方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-132893 Applicant：株式会社ディスコ

研磨液飛散防止機構付き平面研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-200409 Applicant：スピードファム株式会社

両面研磨装置システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-105407 Applicant：不二越機械工業株式会社

平面加工装置及び平面加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-140537 Applicant：株式会社東京精密

多軸ターニング機械
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平8-523980 Applicant：インデックス-ベルケゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングウントコンパニーコマンディトゲゼルシャフトハーンウントテスキ

被加工物の保持装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-342849 Applicant：株式会社ディスコ

加工歪除去装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-280254 Applicant：株式会社ディスコ

研削装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-111191 Applicant：株式会社ディスコ

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