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J-GLOBAL ID：200903029503095282

ダイヤモンド電子素子

Inventor： 林 和志 ,  橘 武史 ,  横田 嘉宏
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002370982
Publication number (International publication number)：2004207272
Application date： Dec. 20, 2002
Publication date： Jul. 22, 2004
Summary：

【課題】順方向抵抗及び逆方向漏れ電流が小さく、実効効率が高い高性能なダイヤモンド電子素子を提供する。【解決手段】ドーパント濃度が1×1017cm-3以上のn型半導体基板1上に、ドーパントをドープせずにアンドープダイヤモンド層2を形成し、アンドープダイヤモンド層2の上にホウ素を1×1019cm-3以上ドープして低抵抗のn型半導体にした高濃度ドープダイヤモンド層3を形成し、更に、高濃度ドープダイヤモンド層3の上には電極4を形成してダイヤモンド電子素子とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

n型半導体基板と、前記基板上に前記基板に接して形成されたアンドープの第1のダイヤモンド層と、前記第1のダイヤモンド層上に形成されドーパント濃度が1×1019cm-3以上である第2のダイヤモンド層と、を有することを特徴とするダイヤモンド電子素子。

IPC (3)：

H01L29/861 ,  H01L29/16 ,  H01L33/00

FI (3)：

H01L29/91 H ,  H01L29/16 ,  H01L33/00 A

F-Term (6)：

5F041CA03 ,  5F041CA33 ,  5F041CA49 ,  5F041CA57 ,  5F041CA67 ,  5F041CA77

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (14)

• ダイヤモンドヘテロ接合整流素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-315611   Applicant：株式会社神戸製鋼所, コウベ・スチール・ユーエスエイ・インコーポレイテッド
• 電子素子並びにそれを使用するダイオード、トランジスタ及びサイリスタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-266325   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 特開昭61-189671
  
• 特開平4-312982
  
• 特開平3-222376
  
• 発光素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-056223   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 半導体素子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-243263   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• ダイヤモンド半導体整流素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-118543   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• ダイヤモンド半導体装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-108805   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• ダイヤモンド半導体デバイス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-226235   Applicant：住友電気工業株式会社
• 高配向性ダイヤモンド薄膜電界効果トランジスタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-315548   Applicant：株式会社神戸製鋼所, コウベ・スチール・ユーエスエイ・インコーポレイテッド
• ダイヤモンド電界効果トランジスタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-315608   Applicant：株式会社神戸製鋼所, コウベ・スチール・ユーエスエイ・インコーポレイテッド
• ダイヤモンド電界効果トランジスタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-018788   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• ダイヤモンド孤立粒子を用いたpn接合素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-232190   Applicant：東京瓦斯株式会社

Cited by examiner (3)

• ダイヤモンドヘテロ接合整流素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-315611   Applicant：株式会社神戸製鋼所, コウベ・スチール・ユーエスエイ・インコーポレイテッド
• 電子素子並びにそれを使用するダイオード、トランジスタ及びサイリスタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-266325   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 特開昭61-189671