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J-GLOBAL ID：200903034190269938

酸化物透明電極膜とその製造方法、透明導電性基材、太陽電池および光検出素子

Inventor：
阿部 能之

About 阿部 能之

, 
石山 典子

About 石山 典子


Applicant, Patent owner：
住友金属鉱山株式会社

About 住友金属鉱山株式会社


Agent (2)： 鴨田 朝雄 ,  鴨田 哲彰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003324825
Publication number (International publication number)：2004207221
Application date： Sep. 17, 2003
Publication date： Jul. 22, 2004
Summary：
【課題】 可視光領域だけでなく赤外線領域においても透過性に優れ、しかも低抵抗値を有する酸化物透明電極膜を提供する。【解決手段】 チタンを含有する酸化インジウムを主成分とし、該酸化インジウムは結晶質であり、該酸化インジウムのインジウムがチタンに、チタン/インジウムの原子数比で0.003〜0.120の割合で置換され、かつ酸化物透明電極膜の比抵抗が5.7×10-4Ωcm以下であることを特徴とする。チタン/インジウムの原子数比で0.003〜0.050の割合で、かつ酸化物透明電極膜の比抵抗が4.0×10-4Ωcm以下であることがさらに好ましい。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
酸化インジウムを主成分とし、チタンを含有する酸化物透明電極膜において、酸化インジウムのインジウムがチタンに、チタン/インジウムの原子数比で0.003〜0.120の割合で、置換され、かつ酸化インジウムは結晶質であり、かつ酸化物透明電極膜の比抵抗が5.7×10-4Ωcm以下であることを特徴とする酸化物透明電極膜。
IPC (5)：
H01B5/14 ,  C23C14/08 ,  H01B13/00 ,  H01L31/04 ,  H01L31/10
FI (6)：
H01B5/14 A ,  C23C14/08 D ,  H01B13/00 503B ,  H01L31/04 H ,  H01L31/04 M ,  H01L31/10 H
F-Term (17)：
4K029BA45 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA04 ,  4K029CA06 ,  4K029DC39 ,  5F049NA01 ,  5F049SE02 ,  5F051AA09 ,  5F051AA10 ,  5F051CB15 ,  5F051FA02 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (12)
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Cited by examiner (6)
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