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J-GLOBAL ID：200903035544151855

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
大泉 芳史

About 大泉 芳史

, 
志水 誠

About 志水 誠

, 
宇高 友広

About 宇高 友広


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (3)： 小島 清路 ,  萩野 義昇 ,  谷口 直也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006234584
Publication number (International publication number)：2008058538
Application date： Aug. 30, 2006
Publication date： Mar. 13, 2008
Summary：
【課題】レジストとしての基本物性に優れており、特にアルカリ性現像液への溶解性及びエッチング耐性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本感放射線性樹脂組成物は、(A)式(1)で表される酸解離性基を有する繰り返し単位を含有し、酸解離性基が解離した際にアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂と、(B)酸発生剤とを含有する。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
(A)下記一般式(1)で表される酸解離性基を有する繰り返し単位を含有し、且つ酸の作用によって該酸解離性基が解離した際にアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂と、(B)感放射線性酸発生剤と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3)：
G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/12
FI (3)：
G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/12
F-Term (24)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA15P ,  4J100BC04P ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100JA37
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (6)
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