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J-GLOBAL ID：200903044045635964

前駆原料混合物、膜付着方法、及び構造の形成

Inventor：
ダグラス・ブシャナン

About ダグラス・ブシャナン

, 
デボラ・アン・ニューメイヤー

About デボラ・アン・ニューメイヤー


Applicant, Patent owner：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

About インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション


Agent (1)： 坂口 博 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001122174
Publication number (International publication number)：2002060944
Application date： Apr. 20, 2001
Publication date： Feb. 28, 2002
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 CVD及びALDに有用な前駆原料混合物、これを用いて膜を成長させる方法、及びこの膜を組み込む電子素子を形成する方法の提供。【解決手段】 Li等の金属元素を含む、少なくとも1つの前駆化合物であり、前駆化合物に、水素化物等の元素を含む、少なくとも1つの前駆物質を含み、これが脂肪族炭化水素等の不活性液内に溶解、乳化または浮遊される。前駆原料混合物は、溶液、乳濁液または懸濁液であり、固相、液相及び気相の混合物から構成され、これらが混合物全体に渡り分散される。
Claim (excerpt)：
不活性液内に溶解、乳化または浮遊される少なくとも1つの前駆化合物を含む、前駆原料混合物であって、前記少なくとも1つの前駆化合物が、化学式【数式1】MR1xR2yAzを有し、ここでMがLi、Na、K、Rb、Cs、Fr、Be、Mg、Ti、Zr、Hf、Sc、Y、La、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Re、Fe、Ru、Os、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Hg、B、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、As、P、Sb及びBiを含むグループから選択される元素であり、R1及びR2が水素化物、アルキル、アルケニル、シクロアルケニル、アリール、アルキン、カルボニル、アミド、イミド、ヒドラジド、リン化物、ニトロシル、ニトリル(nitryl)、硝酸塩、ニトリル(nitrile)、ハロゲン化物、アジド、アルコキシ、シロキシ、シリル及びこれらのハロゲン化、スルホン化、またはケイ化誘導体を含むグループから選択される、同一のまたは異なる配位子であり、Aがホスフィン、亜リン酸塩、アミン、アルシン、スチビン、エーテル、硫化物、ニトリル、イソニトリル、アルケン、ヒドラジン、ピリジン、窒素複素環式化合物、大環状分子、シッフ塩基、シクロアルケン、アルコール、ホスフィン酸化物、アルキリデン、亜硝酸塩、アルキン及び水を含むグループから選択される、任意の配位的に結合または会合される配位子であり、x≧1、x+y=元素Mの原子価であり、z≧0である前駆原料混合物。
IPC (13)：
C23C 16/30 ,  C23C 16/18 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/283 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/822 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/04 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/78
FI (11)：
C23C 16/30 ,  C23C 16/18 ,  H01L 21/203 M ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/283 B ,  H01L 21/285 C ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/90 A ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 27/08 321 D ,  H01L 27/04 C
F-Term (132)：
4K030AA06 ,  4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030AA14 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA05 ,  4K030BA10 ,  4K030BA20 ,  4K030BA22 ,  4K030BA38 ,  4K030BA42 ,  4K030BA43 ,  4K030BA48 ,  4K030CA04 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030LA15 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB08 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104BB32 ,  4M104CC05 ,  4M104DD45 ,  4M104EE03 ,  4M104EE12 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ20 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ34 ,  5F033KK08 ,  5F033KK12 ,  5F033KK17 ,  5F033KK18 ,  5F033KK19 ,  5F033KK20 ,  5F033MM01 ,  5F033MM02 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP06 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR14 ,  5F033SS11 ,  5F038AC05 ,  5F038AC10 ,  5F038AC16 ,  5F038EZ20 ,  5F045AA03 ,  5F045AA15 ,  5F045AB03 ,  5F045AB31 ,  5F045AC01 ,  5F045AC02 ,  5F045AC07 ,  5F045AF01 ,  5F045AF07 ,  5F045AF10 ,  5F045CA01 ,  5F045CA05 ,  5F045CA09 ,  5F045CB05 ,  5F045CB10 ,  5F045DC63 ,  5F048AC03 ,  5F048BB04 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB13 ,  5F048BG14 ,  5F103AA04 ,  5F103DD16 ,  5F103DD27 ,  5F103DD28 ,  5F103HH03 ,  5F103HH04 ,  5F103HH05 ,  5F103LL01 ,  5F103LL07 ,  5F103LL11 ,  5F103LL14 ,  5F140AB03 ,  5F140BD02 ,  5F140BD04 ,  5F140BD05 ,  5F140BD07 ,  5F140BD09 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BE10 ,  5F140BF01 ,  5F140BF05 ,  5F140BF06 ,  5F140BF07 ,  5F140BG08 ,  5F140BG28 ,  5F140BH15 ,  5F140CB01 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CE07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (15)
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