半導体発光素子製造方法および半導体発光素子

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：横井俊之 , 岩上渉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004251468
Publication number (International publication number)：2005354020
Application date： Aug. 31, 2004
Publication date： Dec. 22, 2005
Summary：

【課題】光の取り出し効率が極めて高い半導体発光素子製造方法および半導体発光素子の提供を課題とする。【解決手段】本発明においては、光の平均光学波長の2倍以下の周期で形成された周期構造A1を半導体発光素子10の光の取り出し面に形成することにより、光の取り出し面における屈折率の差を緩和することができる。従って、光の取り出し面における反射を防止することができ、高い光の取り出し効率を実現することができる。さらに、Au薄膜を加熱することにより微細な周期マスクを形成することができるため、周期構造A1を簡易かつ安価に形成することができる。【選択図】図7

Claim (excerpt)：

基板上に少なくともn型半導体層とp型半導体層とからなる発光部を積層してなる半導体発光素子を作成する半導体発光素子製造方法において、平均周期が上記発光部にて発光される光の平均光学波長の2倍以下となる周期状のパターンを有する周期マスクを形成するマスク形成工程と、同周期マスクを用いて平均周期が上記平均光学波長の2倍以下となる周期状の周期構造を形成する周期構造形成工程とを具備することを特徴とする半導体発光素子製造方法。

IPC (1)：

H01L33/00

FI (1)：

H01L33/00 C

F-Term (5)：

5F041AA03 , 5F041CA13 , 5F041CA40 , 5F041CB13 , 5F041CB15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

半導体発光素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-179915 Applicant：株式会社東芝

Cited by examiner (11)

半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-278057 Applicant：東北大学長
半導体発光素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-179915 Applicant：株式会社東芝
半導体発光素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-010571 Applicant：株式会社東芝

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