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J-GLOBAL ID：200903056954564151

走査露光方法及び走査型露光装置

Inventor：
小澤 謙

About 小澤 謙


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997088907
Publication number (International publication number)：1998270345
Application date： Mar. 24, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：
【要約】【課題】 設定露光量のいかんにかかわらず常に最短時間で露光を行なう。【解決手段】 走査露光の際には、設定露光量と計測された平均パルスエネルギとの関係により定まる1点当たりの露光パルス数に応じて、主制御装置50によってマスクRと感光基板Wとの最大走査速度とパルスレーザ光源16の最大発振周波数との少なくとも一方を維持するように、光源16の発振周波数が制御される。このため、設定露光量が小さく、発振周波数もそれほど高くする必要がない高感度領域では、設定露光量に無関係にスキャン最高速での走査露光が可能となる。一方、設定露光量が大きくなると、発振周波数もそれに応じて高くしなければならいが、発振周波数は最大発振周波数が上限であるから、設定露光量が大きく、スキャン最高速を維持できない低感度領域では、発振周波数を最大発振周波数に設定して、露光が行われることとなる。
Claim (excerpt)：
パルスレーザ光源からのパルス光によりマスク上の所定の照明領域を照明し、前記マスクと感光基板とを投影光学系に対して相対走査しつつ、前記マスクに形成されたパターンを感光基板上に逐次投影露光する走査露光方法であって、前記パルスレーザ光源からのパルス光の平均パルスエネルギを計測する工程と;設定された露光量と前記計測された平均パルスエネルギとの関係により定まる1点当たりの露光パルス数に応じて、走査露光の際に、前記マスクと感光基板との最大走査速度と前記パルスレーザ光源の最大発振周波数との少なくとも一方を維持するように、前記パルスレーザ光源の発振周波数を制御する工程とを含む走査露光方法。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521
FI (4)：
H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 D
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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