凝集剤およびその製造装置、製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡田敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004140243
Publication number (International publication number)：2005152880
Application date： May. 10, 2004
Publication date： Jun. 16, 2005
Summary：

【課題】シリカと金属分が含まれる凝集剤を提供する。【解決手段】凝集剤製造装置10Aは、シリカが含まれる流体中に周期表の8族の金属イオンを導入してシリカと金属イオンとが結合した凝集剤を生成する生成手段を有する。この生成手段としては、電極対を採用することができる。このような凝集剤製造装置10にて製造されていた凝集剤の凝集効果は非常に高く、また、凝集効果の経時変化も少ない。また、この凝集剤は、シリカ分を多量に含むCMP排水を材料として生成することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

少なくとも周期表の第8族に属する金属とシリカとから成る物質を含むことを特徴とする凝集剤。

IPC (5)：

B01D21/01 , C02F1/46 , C02F1/52 , C02F1/72 , C02F1/78

FI (5)：

B01D21/01 102 , C02F1/46 Z , C02F1/52 K , C02F1/72 Z , C02F1/78

F-Term (45)：

4D015BA03 , 4D015BA11 , 4D015BA16 , 4D015BA19 , 4D015BB06 , 4D015BB13 , 4D015CA17 , 4D015CA20 , 4D015DA12 , 4D015DA30 , 4D015DA35 , 4D015DC02 , 4D015DC03 , 4D015EA35 , 4D015FA11 , 4D015FA23 , 4D050AA13 , 4D050AB55 , 4D050BB02 , 4D050BB09 , 4D050BD02 , 4D050BD03 , 4D050BD04 , 4D050BD06 , 4D050CA10 , 4D050CA15 , 4D050CA16 , 4D061DA08 , 4D061DB11 , 4D061DB15 , 4D061DB16 , 4D061DC18 , 4D061EA02 , 4D061EB05 , 4D061EB14 , 4D061EB28 , 4D061EB30 , 4D061EB37 , 4D061ED13 , 4D061FA11 , 4D061FA13 , 4D061FA14 , 4D061FA16 , 4D061GA07 , 4D061GA09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

凝集沈殿方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-101603 Applicant：前澤工業株式会社

Cited by examiner (18)

シリコンウエハ研磨排水の処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-096900 Applicant：オルガノ株式会社
水処理用凝集剤の製造、輸送、保存方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-226070 Applicant：株式会社荏原製作所
凝集剤の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-135375 Applicant：日鉄鉱業株式会社

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