感光性組成物用重合体およびこれをもちいたパターン形成方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐藤一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998182641
Publication number (International publication number)：2000019732
Application date： Jun. 29, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】光透過性に優れ、ドライエッチング耐性に優れ、酸触媒による反応効率が高く、かつアルカリ溶解性、基板との密着性に優れる感光性組成物と、表面粗さの小さい、優れたパターン形状が得られるパターン形成方法の提供。【解決手段】脂環式骨格またはナフタレン骨格を有するビニル単量体、および/または(メタ)アクリル酸エステル単量体をリビング重合させることにより得られる、重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比Mw/Mnで与えられる分子量分布が1.0〜1.4の共重合体と、光酸発生剤とを含んでなる感光性組成物と、それを用いた感光性材料を短波長の光で露光して現像するパターン形成方法。

Claim (excerpt)：

脂環式骨格またはナフタレン骨格を有するビニル単量体、および/または(メタ)アクリル酸エステル単量体をリビング重合させることにより得られる、重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比Mw/Mnで与えられる分子量分布が1.0〜1.4の共重合体と、光酸発生剤とを含んでなることを特徴とする感光性組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 501 , C08F 2/48 , C08L 25/02 , C08L 33/04 , C08L 45/00 , H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/039 501 , C08F 2/48 , C08L 25/02 , C08L 33/04 , C08L 45/00 , H01L 21/30 502 R

F-Term (51)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AB20 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB41 , 2H025CB51 , 2H025CB52 , 2H025CB56 , 2H025CC20 , 2H025EA04 , 2H025FA10 , 2H025FA17 , 4J002BC011 , 4J002BG041 , 4J002BG051 , 4J002BK001 , 4J002EN136 , 4J002EQ016 , 4J002EU046 , 4J002EU186 , 4J002EV046 , 4J002EV166 , 4J002EV216 , 4J002EV236 , 4J002EV246 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002FD156 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J011QB01 , 4J011SA79 , 4J011SA83 , 4J011SA84 , 4J011SA87 , 4J011UA01 , 4J011VA02 , 4J011WA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

特開平4-039965
特開平4-039665
感光性材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-185046 Applicant：株式会社東芝

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