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J-GLOBAL ID：200903083103440376

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
片岡 康浩

About 片岡 康浩

, 
丹羽 基博

About 丹羽 基博


Applicant, Patent owner：
旭化成エレクトロニクス株式会社

About 旭化成エレクトロニクス株式会社


Agent (4)： 武井 英夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  鳴井 義夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006156849
Publication number (International publication number)：2007017959
Application date： Jun. 06, 2006
Publication date： Jan. 25, 2007
Summary：
【課題】感度、解像度に優れるばかりでなく、銅基板に対する良好な接着性を有する、ポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミド100質量部と複素環含有化合物0.1〜30質量部と光酸発生剤1〜50質量部、を含むポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【選択図】なし
Claim (excerpt)：
(A)下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミド100質量部、(B)光酸発生剤1〜50質量部、(C)複素環含有化合物0.1〜30質量部、を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (6)：
G03F 7/037 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08G 73/22
FI (7)：
G03F7/037 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/022 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08G73/22
F-Term (51)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC06 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA10 ,  2H096BA11 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA15 ,  4J043PA19 ,  4J043PC065 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043RA06 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043TA12 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA261 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB222 ,  4J043UB282 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043XA16 ,  4J043YA06 ,  4J043ZB47 ,  4J043ZB50
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 特公昭63-096162号公報
  • 特許第3449858号公報
  • 感光性樹脂組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-028912   Applicant：富士通株式会社
Cited by examiner (10)
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