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J-GLOBAL ID：200903088361912268

上部にソレノイドアンテナを有する電磁結合RFプラズマリアクター

Inventor：
ケネス エス. コリンズ

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マイケル ライス

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ジョン トロー

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ダグラス ブクバーガー

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クレイグ エー. ロデリック

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Applicant, Patent owner：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997122679
Publication number (International publication number)：1998092598
Application date： May. 13, 1997
Publication date： Apr. 10, 1998
Summary：
【要約】【課題】 電磁結合RFプラズマリアクターにおいて、加工均一性の犠牲なく、加工物-天井板間の高さを減少させる方法及び装置を提供すること。【解決手段】 本発明は、プラズマリアクター槽及び槽の内部にて加工物を保持するための支持体を規定するリアクター槽囲壁、リアクター槽囲壁に隣接する非平面の誘導アンテナ、アンテナのRF誘導パターン中の空を補償するために加工物の平面に対して非平面の様式にて空間を空けて配置された誘導要素を含む非平面誘導アンテナ、及び非平面誘導アンテナに連結されたプラズマRF電源を含む電磁結合RFプラズマリアクターを提供する。平面の誘導アンテナは対称性又は非対称性のいずれでもよく、好ましくはソレノイド巻き線例えば垂直に積み重ねられた伝導性巻き線を含む。好ましい実施態様においては、巻き線は対称軸から最小の半径距離にあるが、他の実施態様においては、巻き線は、槽の半径に対してある程度の意味のある比を有する対称軸からの半径距離にある。
Claim (excerpt)：
プラズマリアクター槽、及び加工の間、該槽の内側にて支持平面の近くに加工物を保持するための加工物支持体、ここで該槽は該支持体に対向するリアクター囲壁部を有する、該リアクター囲壁部に隣接しかつ該リアクター囲壁部と非共形の形状を有する非平面の誘導アンテナ、ここで該非平面の誘導アンテナは該支持平面に対して非平面の様式にて空間を空けて配置された誘導要素を含み、該誘導アンテナは該槽中に電流を結合するために採用されている、を含むプラズマリアクター。
IPC (4)：
H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (4)：
H05H 1/46 L ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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