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J-GLOBAL ID：200903091167175440
光プロ-ブ及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999281503
Publication number (International publication number)：2000199737
Application date： Oct. 01, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：
【要約】【課題】カンチレバーの撓みによって微小開口とレンズとの距離が変動せず、集光率を向上させることができ、かつ、波長依存の小さい光プローブを提供すること、及び製造工程が単純で、再現性が良く、加工精度が高く、マルチ化が容易な光プローブの製造方法を提供すること。【解決手段】基板に支持された弾性体の自由端部に微小開口を有する突起と、該微小開口近傍に光源からの光を集光させるレンズとを備えた光プローブであって、前記レンズが前記弾性体の自由端部に形成された屈折率マイクロレンズで構成されていること、前記突起が中空であること、あるいは突起の内部が透光性材料で充填され、前記屈折率マイクロレンズが固浸レンズとして機能すること等の特徴を有し、またそれらの製造方法を提供する。
Claim (excerpt)：
基板に支持された弾性体の自由端部に微小開口を有する突起と、該微小開口近傍に光源からの光を集光させるレンズとを備えた光プローブであって、前記レンズが前記弾性体の自由端部に形成された屈折率マイクロレンズで構成されていることを特徴とする光プローブ。
IPC (4)：
G01N 13/14
, G01B 11/30
, G01B 21/30
, G11B 7/135
G01N 13/14 B
, G01B 11/30 Z
, G01B 21/30 Z
, G11B 7/135 Z
Cited by examiner (14)
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