Pat
J-GLOBAL ID:201703012074760992
光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
大野 聖二
, 小林 英了
, 大谷 寛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2016145649
Publication number (International publication number):2016212434
Application date: Jul. 25, 2016
Publication date: Dec. 15, 2016
Summary:
【課題】光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置を提供する。【解決手段】照明光学装置は、入射光束に基づいて所定面に輪帯状の光強度分布を形成するための光束変換素子(50)を備えている。光束変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて、入射光束に基づいて輪帯状の光強度分布のうちの第1円弧状領域分布を形成するための第1基本素子(50A)と、第2円弧状領域分布を形成するための第2基本素子(50B)と、第3円弧状領域分布を形成するための第3基本素子(50C)と、第4円弧状領域分布を形成するための第4基本素子(50D)とにより構成されている。各基本素子は光の透過方向に沿った厚さが互いに異なる。【選択図】図11
Claim (excerpt):
入射光束に基づいて所定面に所定の光強度分布を形成するための光束変換素子において、
旋光性を有する光学材料により形成されて、前記入射光束に基づいて前記所定の光強度分布のうちの第1領域分布を形成するための第1基本素子と、
旋光性を有する光学材料により形成されて、前記入射光束に基づいて前記所定の光強度分布のうちの第2領域分布を形成するための第2基本素子と、を備え、
前記第1基本素子と前記第2基本素子とは、光の透過方向に沿った厚さが互いに異なることを特徴とする光束変換素子。
IPC (2):
FI (2):
G03F7/20 505
, G02B5/00 Z
F-Term (26):
2H042AA03
, 2H042AA04
, 2H042AA05
, 2H042AA17
, 2H042AA19
, 2H042AA25
, 2H197AA06
, 2H197AA09
, 2H197AA44
, 2H197BA06
, 2H197BA07
, 2H197BA08
, 2H197BA09
, 2H197BA10
, 2H197BA22
, 2H197CA06
, 2H197CA08
, 2H197CB03
, 2H197CB17
, 2H197CB20
, 2H197DB02
, 2H197DC20
, 2H197HA03
, 2H197HA05
, 2H197HA08
, 2H197HA10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (13)
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照明装置及びそれを用いた投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-360795
Applicant:キヤノン株式会社
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露光装置および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-075624
Applicant:株式会社日立製作所
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結像方法及び該方法を用いる露光装置及び該方法を用いるデバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-212198
Applicant:キヤノン株式会社
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パターン露光方法及びその装置及びこれに用いるマスク並びにこれらを用いて作られた半導体集積回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-254993
Applicant:株式会社日立製作所
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マイクロリソグラフィーによる接線偏光型投影露光
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-044689
Applicant:カール・ツアイス・スティフツング
-
照明光学装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-219782
Applicant:株式会社ニコン
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露光装置および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-345162
Applicant:日本電気株式会社
-
投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-201650
Applicant:株式会社ニコン
-
投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-310508
Applicant:株式会社ニコン
-
投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-020190
Applicant:株式会社ニコン
-
照明装置、露光装置及びデバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-281991
Applicant:キヤノン株式会社
-
投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-201649
Applicant:株式会社ニコン
-
光学装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-360263
Applicant:ソニー株式会社
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Cited by examiner (20)
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照明装置及びそれを用いた投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-360795
Applicant:キヤノン株式会社
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特許第4976015号
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露光装置および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-345162
Applicant:日本電気株式会社
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露光装置および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-075624
Applicant:株式会社日立製作所
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結像方法及び該方法を用いる露光装置及び該方法を用いるデバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-212198
Applicant:キヤノン株式会社
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パターン露光方法及びその装置及びこれに用いるマスク並びにこれらを用いて作られた半導体集積回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-254993
Applicant:株式会社日立製作所
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マイクロリソグラフィーによる接線偏光型投影露光
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-044689
Applicant:カール・ツアイス・スティフツング
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照明光学装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-219782
Applicant:株式会社ニコン
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投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-201650
Applicant:株式会社ニコン
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投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-310508
Applicant:株式会社ニコン
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投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-020190
Applicant:株式会社ニコン
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照明装置、露光装置及びデバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-281991
Applicant:キヤノン株式会社
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投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-201649
Applicant:株式会社ニコン
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光学装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-360263
Applicant:ソニー株式会社
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特許第4976094号
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特許第5696746号
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特許第5731591号
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特許第5967132号
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特許第5983689号
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光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2015-165058
Applicant:株式会社ニコン
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