窒化処理装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：弁理士法人前田特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2017087536
Publication number (International publication number)：2018184644
Patent number：7174943
Application date： Apr. 26, 2017
Publication date： Nov. 22, 2018
Claim (excerpt)：

【請求項1】大気圧プラズマを発生させて先端ノズルから噴出させるプラズマジェット発生部と、前記プラズマジェット発生部の先端部に取り付けられた局所密閉カバーと、前記局所密閉カバー内を減圧する真空排気部とを備え、前記局所密閉カバーは、前記先端ノズルが貫通する天板と、前記先端ノズルを囲む側壁と、前記天板と反対側の開口端とを有する筒状であり、被処理物又は前記被処理物を裁置した板体に前記開口端を当接させることにより、内部を10Pa以下に減圧可能な密閉空間を形成し、前記被処理物の被処理位置における温度を400°C以上、550°C以下の状態に制御して処理を行う、鋼材を窒化処理する窒化処理装置。

IPC (2)：

C23C 8/24 ( 200 6.01) , C23C 8/02 ( 200 6.01)

FI (2)：

C23C 8/24 , C23C 8/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

低合金鋼の硬化処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2013-147117 Applicant：国立大学法人大分大学
プラズマ処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-267248 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特開昭60-211061

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