特許

J-GLOBAL ID：201303083767888881

液中プラズマを用いた成膜方法および液中プラズマ成膜装置

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発明者： 奥田 真也 ,  合田 信弘 ,  下 俊久 ,  野村 信福 ,  豊田 洋通
出願人/特許権者： 国立大学法人愛媛大学
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-143565
公開番号（公開出願番号）：特開2011-000504
特許番号：特許第5246710号
出願日： 2009年06月16日
公開日（公表日）： 2011年01月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 第一の原料を含む固体からなるターゲットと基材とを互いに対向させて、液体中に配設する配設工程と、 前記液体中に少なくともスパッタガスを供給して前記ターゲットと前記基材との間に気相空間を形成する気相空間形成工程と、 少なくとも前記スパッタガスのプラズマを前記気相空間に発生させるプラズマ発生工程と、 を経て、前記プラズマにより前記ターゲットをスパッタリングさせて前記基材の表面に少なくとも前記第一の原料を堆積させることを特徴とする液中プラズマを用いた成膜方法。

IPC (5件)：

B01J 19/08 ( 200 6.01) ,  C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  C23C 14/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/285 ( 200 6.01) ,  H05H 1/24 ( 200 6.01)

FI (7件)：

B01J 19/08 H ,  C23C 14/34 T ,  C23C 14/34 S ,  C23C 14/34 Z ,  C23C 14/00 Z ,  H01L 21/285 S ,  H05H 1/24

引用特許：

審査官引用 (9件)

• 液中プラズマを用いた成膜方法および液中プラズマ成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-157727   出願人：株式会社豊田自動織機, 国立大学法人愛媛大学
• 液中プラズマ発生装置および薄膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-313979   出願人：株式会社テクノネットワーク四国
• プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-098193   出願人：株式会社テクノネットワーク四国
• 液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-245074   出願人：本多電子株式会社, 国立大学法人名古屋大学
• 液体中プラズマ発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-246147   出願人：PMディメンションズ株式会社
• 多孔質膜およびその生成装置と生成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-045546   出願人：株式会社テクノネットワーク四国
• 液中プラズマ処理装置、及び液中プラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-217592   出願人：本多電子株式会社, 国立大学法人名古屋大学
• ダイヤモンド製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-340327   出願人：国立大学法人愛媛大学, 株式会社豊田自動織機
• 液中プラズマ反応装置、液中プラズマによる反応方法および結晶合成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-045545   出願人：株式会社テクノネットワーク四国