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J-GLOBAL ID：200902289164590838   整理番号：09A0783155

集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減

Reduction of Temperature Coefficient of Resistance of NiCr-Gauge-Thin-Film for Intergraded Tactile Sensor

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著者 (9件)： 橘弘人 (大阪大) ,  釜鳴志郎 (大阪大) ,  松浦宏俊 (大阪大) ,  寒川雅之 (大阪大) ,  金島岳 (大阪大) ,  奥山雅則 (大阪大) ,  山下馨 ,  野田実 ,  野間春生 (ATR)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-09  号： 16-42  ページ： 97-102  発行年： 2009年07月23日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 集積化多軸触覚センサシステムをヒューマンサポートロボット用に...

シソーラス用語： *触覚センサ ,...
準シソーラス用語： 歪ゲージ ,...

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分類 (2件)： 筋骨格系・皮膚モデル  (EL02040R) ,  計測機器一般  (AD02000X)

引用文献 (5件)：

• 吉田俊介, 溝田晃一, 樋口克己, 金島岳, 野間春生:「ナノ薄膜技術による高密度に分布可能な3軸触覚センサの開発--3つの片持ち梁構造体による庄力と舅断力の同時検出--」, ロボティクス・メカトロニクス講演会2009, 2P1-K03,(2009)
• M. Sohgawa, Y. M. Huang, M. Noda, T. Kanashima, K. Yamashita, M. Okuyama M. Ikeda, and H. Noma: “Fabrication and Characterization of Normal and Shear Stresses Sensitive Tactile Sensors by Using Inclined Micro-cantilevers Covered with Elastomer ”, Material Research Society, Vol.1052, pp. 151-156.(2007)
• H. Onishi, M. Sohgawa, H. Tachibana, Y. M. Huang, T. Kanashima, M. Okuyama, K. Yamashita, M. Noda, H. Noma: “ Stability Improvement of Tactile Sensor of Normal and Shear Stresses Using NiCr Thin Film Gauge”, to be published in IEEJ, Vol.129, No.11(2009)
• D.S.Campbell and B.Hendry “The effect of composition on the temperature coefficient of resistance of NiCr films”, APPL.PHYS., 1965, VOL.16
• S Vinayak, HP Vyas, VD Vankar “Microstructure and electrical characteristics of Ni-Cr thin films”, Thin Solid Films, Volume 515, Issue 18, pp. 7109-7116(2007)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集積化 ,  触覚センサ ,  ゲージ ,  薄膜 ,  抵抗温度係数