特許

J-GLOBAL ID：200903002540638061

研磨パッド

発明者： 福田 武司 ,  廣瀬 純司
出願人/特許権者： 東洋ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-063547
公開番号（公開出願番号）：特開2009-214281
出願日： 2008年03月13日
公開日（公表日）： 2009年09月24日
要約：

【課題】 耐久性及び耐摩耗性に優れ、基材層と研磨層とが剥がれにくい研磨パッドを提供することを目的とする。【解決手段】 基材層上に研磨層が設けられている研磨パッドにおいて、前記研磨層は、略球状の連続気泡を有する熱硬化性ポリウレタン発泡体からなり、かつ前記基材層に自己接着しており、前記熱硬化性ポリウレタン発泡体は、イソシアネート成分及び活性水素基含有成分を、2を超え4以下の官能基モル比(イソシアネート成分のイソシアネート基のモル数/活性水素基含有成分の活性水素基のモル数)で含むプレポリマー組成物を反応して得られるイソシアネート末端プレポリマーと、鎖延長剤とを原料成分として含有することを特徴とする研磨パッド。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基材層上に研磨層が設けられている研磨パッドにおいて、前記研磨層は、略球状の連続気泡を有する熱硬化性ポリウレタン発泡体からなり、かつ前記基材層に自己接着しており、前記熱硬化性ポリウレタン発泡体は、イソシアネート成分及び活性水素基含有成分を、2を超え4以下の官能基モル比(イソシアネート成分のイソシアネート基のモル数/活性水素基含有成分の活性水素基のモル数)で含むプレポリマー組成物を反応して得られるイソシアネート末端プレポリマーと、鎖延長剤とを原料成分として含有することを特徴とする研磨パッド。

IPC (5件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 ,  C08G 18/10 ,  C08L 75/04 ,  C08K 3/04

FI (5件)：

B24B37/00 P ,  H01L21/304 622F ,  C08G18/10 ,  C08L75/04 ,  C08K3/04

Fターム (69件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17 ,  4J002CK031 ,  4J002CP032 ,  4J002DA036 ,  4J002FD206 ,  4J002FD312 ,  4J002GQ00 ,  4J002HA02 ,  4J034BA08 ,  4J034CA03 ,  4J034CA04 ,  4J034CA05 ,  4J034CA15 ,  4J034CA16 ,  4J034CA17 ,  4J034CB03 ,  4J034CB04 ,  4J034CB05 ,  4J034CB08 ,  4J034CC03 ,  4J034CC05 ,  4J034CC12 ,  4J034CC23 ,  4J034CC26 ,  4J034CC45 ,  4J034CC52 ,  4J034CC61 ,  4J034CC62 ,  4J034CC65 ,  4J034CC67 ,  4J034CD01 ,  4J034CD04 ,  4J034CD08 ,  4J034CD13 ,  4J034DF01 ,  4J034DF02 ,  4J034DF03 ,  4J034DF12 ,  4J034DF16 ,  4J034DG03 ,  4J034DG06 ,  4J034HA01 ,  4J034HA07 ,  4J034HC03 ,  4J034HC12 ,  4J034HC13 ,  4J034HC17 ,  4J034HC22 ,  4J034HC46 ,  4J034HC52 ,  4J034HC53 ,  4J034HC61 ,  4J034HC64 ,  4J034HC65 ,  4J034HC67 ,  4J034HC69 ,  4J034HC71 ,  4J034HC73 ,  4J034JA42 ,  4J034MA02 ,  4J034NA01 ,  4J034NA08 ,  4J034QA03 ,  4J034QC01 ,  4J034QD06 ,  4J034RA14

引用特許：

出願人引用 (7件)

• ウェーハの研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-225753   出願人：信越半導体株式会社
• 仕上げ研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-287333   出願人：エム・イー・エム・シー株式会社
• 仕上げ研磨用研磨布
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-086812   出願人：ロデール・ニッタ株式会社
• 仕上げ研磨用研磨布
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-129136   出願人：ロデール・ニッタ株式会社
• 研磨布
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-259531   出願人：ニッタ・ハース株式会社
• ガラス研磨ポリウレタンパッド用2液型組成物、該組成物を用いたガラス研磨ポリウレタンパッド、及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-208167   出願人：カネボウ株式会社, 日本ポリウレタン工業株式会社
• ポリウレタン研磨パッド
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-552126   出願人：ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズシーエムピーホウルディングスインコーポレイテッド

審査官引用 (6件)

• 特開平2-088229
  
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-006210   出願人：東洋ゴム工業株式会社
• 研磨パッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-088388   出願人：東洋ゴム工業株式会社
• 積層シートの製造方法及び積層シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-072945   出願人：東洋ゴム工業株式会社
• 溝付き長尺研磨パッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-115881   出願人：東洋ゴム工業株式会社
• 研磨パッド
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-554805   出願人：ピーピージーインダストリーズオハイオ,インコーポレイテッド