カーボンナノチューブの製造方法およびその製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：日比紀彦 , 岸本瑛之助 , 渡邊彰 , 清末康子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-209197
公開番号（公開出願番号）：特開2005-067916
出願日： 2003年08月28日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【課題】真空・加圧室や、基板積載用のロボットアームを設ける必要がなく、構造がシンプルで設備費が安価であるカーボンナノチューブ製造装置を提供する。【解決手段】カーボンナノチューブの製造装置は、駆動ドラム1 と従動ドラム2 によって回動される無端ベルト3 と、同ベルト3 を構成する多数の隣接する基板と、基板表面に触媒金属粒子からなる薄膜を形成する触媒薄膜形成部4 と、同形成部4 の下流に設けられ、かつ、薄膜上に化学蒸着法によりカーボンナノチューブを成長させるカーボンナノチューブ形成部5 と、同形成部5 の下流に設けられ、基板からカーボンナノチューブを剥離するカーボンナノチューブ剥離部6 と、同剥離部6 の下流に設けられた基板浄化部7 とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板表面に触媒金属粒子からなる薄膜を形成し、該薄膜の触媒粒子を核として薄膜上に化学蒸着法によりカーボンナノチューブを成長させるに当たり、薄膜上における化学蒸着法によるカーボンナノチューブの成長を、プラズマを用いて行うことを特徴とする、カーボンナノチューブの製造方法。

IPC (2件)：

C01B31/02 , B82B1/00

FI (2件)：

C01B31/02 101F , B82B1/00

Fターム (14件)：

4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AD29 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB23 , 4G146BC09 , 4G146BC23 , 4G146BC33B , 4G146BC43 , 4G146DA03 , 4G146DA26 , 4G146DA27 , 4G146DA28

引用特許：

審査官引用 (14件)

カーボンナノチューブの製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-008461 出願人：キヤノン株式会社
カーボンナノチューブの製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-161292 出願人：キヤノン株式会社
製品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-045300 出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

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