特許
J-GLOBAL ID：200903004879283818

カーボンナノチューブの製造方法およびその製造装置

発明者：
井上 鉄也

井上 鉄也 について

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大工 博之

大工 博之 について

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石辺 二朗

石辺 二朗 について


出願人/特許権者：
日立造船株式会社

日立造船株式会社 について


代理人 (4件)： 日比 紀彦 ,  岸本 瑛之助 ,  渡邊 彰 ,  清末 康子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-209197
公開番号（公開出願番号）：特開2005-067916
出願日： 2003年08月28日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】真空・加圧室や、基板積載用のロボットアームを設ける必要がなく、構造がシンプルで設備費が安価であるカーボンナノチューブ製造装置を提供する。【解決手段】カーボンナノチューブの製造装置は、駆動ドラム1 と従動ドラム2 によって回動される無端ベルト3 と、同ベルト3 を構成する多数の隣接する基板と、基板表面に触媒金属粒子からなる薄膜を形成する触媒薄膜形成部4 と、同形成部4 の下流に設けられ、かつ、薄膜上に化学蒸着法によりカーボンナノチューブを成長させるカーボンナノチューブ形成部5 と、同形成部5 の下流に設けられ、基板からカーボンナノチューブを剥離するカーボンナノチューブ剥離部6 と、同剥離部6 の下流に設けられた基板浄化部7 とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板表面に触媒金属粒子からなる薄膜を形成し、該薄膜の触媒粒子を核として薄膜上に化学蒸着法によりカーボンナノチューブを成長させるに当たり、薄膜上における化学蒸着法によるカーボンナノチューブの成長を、プラズマを用いて行うことを特徴とする、カーボンナノチューブの製造方法。
IPC (2件)：
C01B31/02 ,  B82B1/00
FI (2件)：
C01B31/02 101F ,  B82B1/00
Fターム (14件)：
4G146AA11 ,  4G146AB06 ,  4G146AD29 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB23 ,  4G146BC09 ,  4G146BC23 ,  4G146BC33B ,  4G146BC43 ,  4G146DA03 ,  4G146DA26 ,  4G146DA27 ,  4G146DA28
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (14件)
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