特許
J-GLOBAL ID:200903006043443406

共焦点顕微分光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山崎 高明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-356484
公開番号(公開出願番号):特開2005-121479
出願日: 2003年10月16日
公開日(公表日): 2005年05月12日
要約:
【課題】 ラマン散乱光や蛍光などの散乱光と、試料の光学像(共焦点光学顕微鏡像)とを同時に測定することができ、これらの位置関係を明確にすることができる共焦点顕微分光装置を提供する。【解決手段】 試料Sからの反射光と散乱光とをノッチフィルタ27により分離させ、反射光の光量を光検出器4により測定するとともに、ラマン散乱光または蛍光スペクトルを光電子増倍管3またはCCD46により同時に測定する。試料Sにおける被測定箇所を順次移動させながら反射光量、ラマン散乱光及び蛍光スペクトルの測定データを蓄積し、この測定データに基づく2次元または3次元分布像を表示する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
連続発振またはパルス発振する少なくとも2以上の励起用レーザ光源と、 所定の波長光を透過または反射し他の波長光を反射または透過する複数の光学フィルタ及び光路を遮断する複数のシャッタを有し、これら光学フィルタ及びシャッタを切換えることにより上記各励起レーザ光源からの励起レーザ光のうちから一の励起レーザ光を選択する励起レーザ光選択手段と、 上記励起レーザ光選択手段により選択された励起レーザ光の試料に対する照射を行う照射手段及びこの試料からの反射光または散乱光の集光手段となる共焦点光学顕微鏡と、 上記試料から発生した散乱光を分光して試料の被測定個所の分光スペクトルを測定する分光手段と、 上記試料の位置を3次元的に移動させながら、予め設定したスペクトル窓内のスペクトル強度のデータを蓄積し、蓄積したスペクトル強度のデータに基づいてスペクトル分布像を3次元的に表示するスペクトル分布像形成手段と を備え、 上記分光手段は、上記励起レーザ光が上記共焦点光学顕微鏡により上記試料上の被測定箇所に集光されて照射されることにより該被測定箇所から発生する該励起レーザ光の反射光と散乱光とを、波長弁別を行う第1の光学フィルタにより分離させ、分離された反射光の強度を光検出器によって検出するとともに、分離された散乱光について、上記励起レーザ光選択手段による励起レーザ光の選択に同期して選択される該励起レーザ光よりも長波長の光を反射または透過する特性を有する第2の光学フィルタを介して、上記試料上の同一被測定個所について励起波長が異なるラマン散乱光及び蛍光スペクトルを分光装置により波長分散させて同時に測定し、 上記スペクトル分布像形成手段は、上記試料における被測定箇所を順次移動させながら、上記分光手段において測定された測定データの蓄積を所定回数繰返した後、蓄積された測定データに基づき、励起レーザ光の反射光測定に対応した共焦点光学顕微鏡像と、スペクトル測定に対応した2次元または3次元分布像とを表示する ことを特徴とする共焦点顕微分光装置。
IPC (4件):
G01N21/27 ,  G01N21/64 ,  G01N21/65 ,  G02B21/00
FI (4件):
G01N21/27 E ,  G01N21/64 E ,  G01N21/65 ,  G02B21/00
Fターム (61件):
2G043EA01 ,  2G043EA03 ,  2G043EA14 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043GA01 ,  2G043GA07 ,  2G043GB01 ,  2G043GB19 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA07 ,  2G043HA09 ,  2G043HA11 ,  2G043HA15 ,  2G043JA02 ,  2G043JA03 ,  2G043JA04 ,  2G043KA09 ,  2G043LA02 ,  2G043LA03 ,  2G043NA05 ,  2G043NA06 ,  2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE07 ,  2G059EE12 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG08 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ23 ,  2G059JJ25 ,  2G059KK01 ,  2G059KK04 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AB25 ,  2H052AC04 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC29 ,  2H052AC34 ,  2H052AD03 ,  2H052AD32 ,  2H052AD34 ,  2H052AF02 ,  2H052AF07
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 共焦点顕微分光装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-130100   出願人:株式会社東京インスツルメンツ, 科学技術振興事業団, 三澤弘明, 内田達也
審査官引用 (22件)
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引用文献:
審査官引用 (3件)

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