特許
J-GLOBAL ID：200903010428499159
基板用研削装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-005165
公開番号（公開出願番号）：特開2004-216485
出願日： 2003年01月14日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】インゴットをスライスして形成したウエハを研削して表面を平坦化する際、研削基板の外周縁周辺にリング状の突起が生じるのを防ぐ研削装置の提供。【解決手段】インゴットをスライシングして得た基板wを、吸着チャック51上に保持し、該基板上面側よりスピンドルに軸承されたカップホイ-ル型研削砥石を押し圧し、前記吸着チャックとカップホイ-ル型研削砥石を摺動させて基板表面を研削する装置であって、前記吸着チャックの基板を吸着する面が、剛体製吸着板51aの表面に直径0.5〜2mmの孔を穿った厚み2.0〜5mmの弾性シ-ト51bを貼着した弾性シ-ト表面に基板の外周に似せて基板の外周よりは0.05〜2mm幅大きく、深さが0.5〜3.0mmの環状溝51fを設けた弾性シ-ト51bを備えている基板用研削装置。基板wは弾性シ-ト51b表面上の前記環状溝内に載せて研削する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
インゴットをスライシングして得た基板を吸着チャック上に保持し、該基板上面側よりスピンドルに軸承されたカップホイ-ル型研削砥石を押し圧し、前記吸着チャックとカップホイ-ル型研削砥石を摺動させて基板表面を研削する装置であって、
前記吸着チャックの基板を吸着する面が、剛体製吸着板の表面に直径0.5〜2mmの孔を穿った厚み2.0〜5mmの弾性シ-トを貼着した構造となっており、この弾性シ-ト表面には基板の外周に似せて基板の外周よりは0.05〜2mm幅大きく、深さが0.5〜3.0mmの環状溝が設けられており、基板は該弾性シ-ト表面層上の前記環状溝内に載せられることを特徴とする、基板用研削装置。
IPC (3件)：
B24B41/06
, B24B7/20
, H01L21/304
B24B41/06 L
, B24B7/20
, H01L21/304 622H
3C034AA07
, 3C034BB73
, 3C034CB11
, 3C034DD10
, 3C043BB00
, 3C043CC02
, 3C043DD05
出願人引用 (13件)
-
基板の研削装置および研削方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-355093
出願人：株式会社岡本工作機械製作所
-
特開平1-252333
-
ウエハの加工方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-063601
出願人：リンテック株式会社
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
