特許
J-GLOBAL ID：200903014419513560
ウェーハ押さえ部材、これを組み込んだウェーハ収納用容器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山本 亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328194
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163115
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ウェーハ押さえ部材から発生する揮発性有機物が少なく、収納されたウェーハの汚染を極力低減しうるウェーハ押さえ部材及びこれを組み込んだウェーハ収納用容器を提供する。【解決手段】 内部温度60°Cの密閉容器内に120分間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して50ppm以下となるように、予め真空加熱処理を施した熱可塑性ポリエステル系エラストマー材料を、内部温度60°Cの密閉容器内に120分間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して50ppm以下となるように射出成形する。
請求項（抜粋）：
内部温度60°Cの密閉容器内に120分間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して50ppm以下となるように、予め真空加熱処理を施した熱可塑性ポリエステル系エラストマー材料を、内部温度60°Cの密閉容器内に120分間放置した後の該容器内の揮発性有機物量が全材料重量に対して50ppm以下となるように射出成形することにより得られることを特徴とするウェーハ押さえ部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
