特許
J-GLOBAL ID：200903015726873979

集積型薄膜太陽電池の洗浄方法及びその装置

発明者：
平石 将史

平石 将史 について

, 
山岸 英雄

山岸 英雄 について

, 
近藤 正隆

近藤 正隆 について


出願人/特許権者：
鐘淵化学工業株式会社

鐘淵化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215177
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044466
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：
【要約】【課題】出力特性,絶縁特性及び耐電圧特性が優れた集積型薄膜太陽電池を提供することにある。【解決手段】絶縁基板上に順次積層された第1電極層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積層体を備え,前記積層体をレーザスクライブ法により光電変換セル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変換セル集積領域をレーザスクライブ法により複数の光電変換セルに分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄装置であって,洗浄液を収容した洗浄槽12と,この洗浄槽12の内部に設けられ集積型薄膜太陽電池1を純水W中に浸漬した状態で搬送させるローラコンベア15と,純水Wに超音波振動を付与する超音波振動子17とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
絶縁基板上に順次積層された第1電極層,半導体光電変換層及び第2電極層を含む積層体を備え,前記積層体をレーザスクライブ法により光電変換セル集積領域と周縁領域とに分離し,前記光電変換セル集積領域をレーザスクライブ法により複数の光電変換セルに分離し,複数の光電変換セルの少なくとも一部は電気的に直列に接続されている集積型薄膜太陽電池の洗浄方法であって,前記集積型薄膜太陽電池を洗浄液中に浸漬した状態で搬送させるとともに,前記洗浄液に超音波振動を付与し,レーザスクライブによって発生したパーティクルを除去することを特徴とする集積型薄膜太陽電池の洗浄方法。
IPC (2件)：
H01L 31/04 ,  B08B 3/04
FI (2件)：
H01L 31/04 S ,  B08B 3/04 B
Fターム (14件)：
3B201AA02 ,  3B201AB14 ,  3B201BA02 ,  3B201BA08 ,  3B201BA14 ,  3B201BB04 ,  3B201BB85 ,  3B201BB93 ,  3B201CC12 ,  5F051EA01 ,  5F051EA02 ,  5F051EA08 ,  5F051EA16 ,  5F051EA20
引用特許：
審査官引用 (14件)
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