感放射線性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小島清路 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-083930
公開番号（公開出願番号）：特開2003-280201
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】露光ウインドウの点で優れると共に、レジストとしての基本物性にも優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明の感放射線性樹脂組成物は、(A)繰り返し単位として下記式(1)〜(4)のうちの少なくとも1種を有し、酸解離性基の解離によりアルカリ可溶性となり、該酸解離性基が同一で、且つ、該酸解離性基の含有量が異なる2種以上の酸解離性基含有樹脂と、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生させる化合物と、を含有する。【化1】

請求項（抜粋）：

(A)酸解離性基が同一で、且つ、該酸解離性基の含有量が異なる2種以上の酸解離性基含有樹脂と、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生させる化合物と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/18 , C08F220/28 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/18 , C08F220/28 , H01L 21/30 502 R

Fターム (74件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE08 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 4J100AJ01R , 4J100AJ02R , 4J100AJ09R , 4J100AK31R , 4J100AK32R , 4J100AL03R , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL09R , 4J100AL31R , 4J100AL62S , 4J100AL66S , 4J100AM01R , 4J100AM02R , 4J100AM03R , 4J100AM14R , 4J100AM15R , 4J100AM32R , 4J100AM33R , 4J100AQ06R , 4J100AQ08R , 4J100AQ12R , 4J100AQ15R , 4J100AQ19R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04Q , 4J100BA04R , 4J100BA11R , 4J100BA16R , 4J100BA20R , 4J100BB01R , 4J100BB07R , 4J100BC02R , 4J100BC03P , 4J100BC03R , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC08R , 4J100BC09P , 4J100BC09S , 4J100BC12R , 4J100BC12S , 4J100BC27R , 4J100BC28R , 4J100BC43S , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100BD10P , 4J100BD10Q , 4J100BD10R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA38 , 4J100EA05 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100FA28 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (11件)

化学増幅型ホトレジスト及びそれを用いたレジストパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-113587 出願人：東京応化工業株式会社
ポジ型レジスト材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-060955 出願人：日本電信電話株式会社
化学増幅ポジ型レジスト材料
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-057719 出願人：信越化学工業株式会社

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