特許
J-GLOBAL ID：200903021067492296

感放射線性樹脂組成物

発明者：
佐野 公康

佐野 公康 について

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西村 幸生

西村 幸生 について

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石井 寛之

石井 寛之 について

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黒川 光雄

黒川 光雄 について

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マーク スレザック

マーク スレザック について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について

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ジェイエスアール マイクロ インコーポレイテッド

ジェイエスアール マイクロ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 小島 清路 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-083930
公開番号（公開出願番号）：特開2003-280201
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】 露光ウインドウの点で優れると共に、レジストとしての基本物性にも優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、(A)繰り返し単位として下記式(1)〜(4)のうちの少なくとも1種を有し、酸解離性基の解離によりアルカリ可溶性となり、該酸解離性基が同一で、且つ、該酸解離性基の含有量が異なる2種以上の酸解離性基含有樹脂と、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生させる化合物と、を含有する。【化1】
請求項（抜粋）：
(A)酸解離性基が同一で、且つ、該酸解離性基の含有量が異なる2種以上の酸解離性基含有樹脂と、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生させる化合物と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (74件)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE08 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  4J100AJ01R ,  4J100AJ02R ,  4J100AJ09R ,  4J100AK31R ,  4J100AK32R ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AL31R ,  4J100AL62S ,  4J100AL66S ,  4J100AM01R ,  4J100AM02R ,  4J100AM03R ,  4J100AM14R ,  4J100AM15R ,  4J100AM32R ,  4J100AM33R ,  4J100AQ06R ,  4J100AQ08R ,  4J100AQ12R ,  4J100AQ15R ,  4J100AQ19R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA11R ,  4J100BA16R ,  4J100BA20R ,  4J100BB01R ,  4J100BB07R ,  4J100BC02R ,  4J100BC03P ,  4J100BC03R ,  4J100BC04P ,  4J100BC04R ,  4J100BC08R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09S ,  4J100BC12R ,  4J100BC12S ,  4J100BC27R ,  4J100BC28R ,  4J100BC43S ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100BD10P ,  4J100BD10Q ,  4J100BD10R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100DA38 ,  4J100EA05 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100FA28 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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