特許
J-GLOBAL ID：200903023604189417
液晶表示装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-148942
公開番号（公開出願番号）：特開平9-331066
出願日： 1996年06月11日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 Al系金属膜が配線膜又は遮光膜として使用されている液晶表示装置において、ヒロックの生起を防止すると共に、バックライト等の光の反射を防止して、断線不良の撲滅、信頼性の向上、コントラストの向上を実現する液晶表示装置及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 第1の層間絶縁膜18上に設けられた遮光膜20上面に、Al系金属膜以外の金属膜であってその反射率がAl系金属膜の反射率よりも低いもの、例えばMo膜22が形成されている。Al系金属膜からなるソース配線膜24及びドレイン配線膜26の各上面にも、それぞれMo膜28、30が形成されている。これらMo膜22、28、30上に、第2の層間絶縁膜32が形成されている。即ち、遮光膜20、ソース配線膜24、及びドレイン配線膜26の各上面と第2の層間絶縁膜32との間にはMo膜22、28、30が介在している。
請求項（抜粋）：
アルミニウム系金属膜が配線膜又は遮光膜として使用されている液晶表示装置であって、前記アルミニウム系金属膜上面、又は前記アルミニウム系金属膜上面及び側面に、金属膜(アルミニウム系金属膜を除く)が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (6件)：
H01L 29/786
, G02F 1/1335 500
, G02F 1/136 500
, H01L 21/28 301
, H01L 21/3205
, H01L 29/40
H01L 29/78 616 U
, G02F 1/1335 500
, G02F 1/136 500
, H01L 21/28 301 R
, H01L 29/40 A
, H01L 21/88 N
, H01L 29/78 616 V
