特許
J-GLOBAL ID:200903024639530800
ビームプロファイル検証方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
有我 軍一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-203801
公開番号(公開出願番号):特開2003-014583
出願日: 2001年07月04日
公開日(公表日): 2003年01月15日
要約:
【要約】【課題】 ビームの光量データを関数によって表現することでビームのプロファイルを高解像で検出するとともに、複数のビームが重畳している状態でも個々のビームのプロファイルを検証することが可能なビームプロファイル検証方法を提供する。【解決手段】 画像形成装置の書込み光学系によって出射されるビームを受光する受光工程と、受光されたビームのビーム情報を格納するビーム情報格納工程と、格納されたビーム情報をビームの光量の分布を表す光量データ41に処理するとともに、光量データ41を近似する関数を光量データ41に収束するように関数を処理するビーム情報処理工程と、ビーム情報処理工程によって処理されることで光量データ41に収束した関数に基づいてビームのプロファイルを検出するビーム情報検出工程とを備える。
請求項(抜粋):
画像形成装置の書込み光学系によって出射されるビームを受光する受光工程と、前記受光工程によって受光された前記ビームのビーム情報を格納するビーム情報格納工程と、前記ビーム情報格納工程によって格納された前記ビーム情報を前記ビームの光量の分布を表す光量データに処理するとともに、前記光量データを近似する関数を前記光量データに収束するように前記関数を処理するビーム情報処理工程と、前記ビーム情報処理工程によって処理されることで前記光量データに収束した前記関数に基づいて前記ビームのプロファイルを検出するビーム情報検出工程とを備えることを特徴とするビームプロファイル検証方法。
IPC (7件):
G01M 11/02
, G01B 11/24
, G01J 1/02
, G01J 1/04
, G01M 11/00
, G02B 26/10
, H04N 1/036
FI (7件):
G01M 11/02 B
, G01J 1/02 L
, G01J 1/04 D
, G01M 11/00 M
, G02B 26/10 Z
, H04N 1/036 Z
, G01B 11/24 K
Fターム (35件):
2F065AA51
, 2F065CC00
, 2F065FF04
, 2F065GG06
, 2F065GG12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL15
, 2F065LL62
, 2F065MM26
, 2F065QQ17
, 2F065QQ21
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ26
, 2F065QQ27
, 2G065AA04
, 2G065AA11
, 2G065BA05
, 2G065BB29
, 2G065BB49
, 2G065BC11
, 2G065BC35
, 2G065CA11
, 2G086GG03
, 2G086HH07
, 2H045BA41
, 2H045CB01
, 2H045DA46
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DB02
, 5C051DB16
, 5C051DB30
, 5C051DE30
引用特許:
審査官引用 (15件)
-
光ビーム形状測定器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-189854
出願人:株式会社アドバンテスト
-
特開平4-036629
-
光走査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-186187
出願人:キヤノン株式会社
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