特許
J-GLOBAL ID：200903026618510578
被処理物の表面処理方法およびその処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
千明 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-393247
公開番号（公開出願番号）：特開2005-154816
出願日： 2003年11月25日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】例えば被処理物の電気めっきに好適で、電気めっきの各処理に使用する処理流体を順次循環供給し、一連の処理を合理的かつ迅速に行ない、生産性の向上と量産化を図るとともに、緻密かつ均質でつき廻りの良い薄膜のめっき皮膜を得られる、被処理物の表面処理方法およびその処理装置を提供すること。【解決手段】被処理物2と所定の表面処理流体とを収容可能な反応槽1を介挿した循環路8を有すること。 前記被処理物2の表面処理時に所定の表面処理流体を循環させる被処理物の表面処理方法であること。 前記反応槽1を電気化学的反応可能に装備する。 前記被処理物2の表面処理時、前記循環路8に所定の表面処理流体を循環させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理物と所定の表面処理流体とを収容可能な反応槽を介挿した循環路に、被処理物の表面処理時に所定の表面処理流体を循環させる被処理物の表面処理方法において、前記反応槽を電気化学的反応可能に装備し、前記被処理物の表面処理時、前記循環路に所定の表面処理流体を循環させることを特徴とする被処理物の表面処理方法。
IPC (1件)：
FI (3件)：
C25D17/00 C
, C25D17/00 E
, C25D17/00 F
出願人引用 (3件)
審査官引用 (14件)
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めっき装置および配線基板
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-335124
出願人：株式会社日立製作所
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ウエハメッキ装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-143019
出願人：株式会社荏原製作所
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自動めっき装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-084368
出願人：株式会社日立製作所, 日立協和工業株式会社
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