特許
J-GLOBAL ID：200903026785183465

基板搬送装置および基板処理装置

発明者：
三宅 孝志

三宅 孝志 について

, 
村岡 祐介

村岡 祐介 について

, 
斉藤 公続

斉藤 公続 について

, 
岩田 智巳

岩田 智巳 について

, 
溝端 一国雄

溝端 一国雄 について

, 
北門 龍治

北門 龍治 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 振角 正一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-083296
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282666
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：
【要約】【課題】 基板を濡らしている処理液が零れたり、垂れたりするのを防止しながら、基板をウェット搬送することができる基板搬送装置、ならびに該基板搬送装置を備えた基板処理装置を提供する。【解決手段】 上蓋部材38が基板Wと同程度の平面サイズを有する円板部と、その周縁から下方に突起したフランジ部とを備えており、基板表面上方から基板表面を覆って基板Wとの間で微小空間S1を形成する。そして、リンス液供給部からリンス液が微小空間S1に供給されて、その微小空間S1がリンス液で満たされる。このように上蓋部材38が基板表面を覆うように近接配置されており、しかも、こうしてリンス液で充満された乾燥防止用空間は微小空間S1に規制されているため、リンス液の表面張力により微小空間S1からリンス液が零れるのが効果的に防止される。
請求項（抜粋）：
所定の処理液で濡らされた基板を保持する基板保持手段と、前記基板保持手段に保持された基板から離間して対面配置されて前記基板との間で乾燥防止用空間を形成する空間形成手段と、前記乾燥防止用空間に乾燥防止成分を供給する供給手段と、前記乾燥防止用空間が前記乾燥防止成分で満たされた状態で前記基板保持手段および前記空間形成部材を一体的に移動させて前記基板を搬送する駆動手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68 ,  B08B 3/04 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 651
FI (7件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 B ,  B08B 3/04 B ,  B25J 15/08 Z ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/304 651 G
Fターム (39件)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB02 ,  3B201AB47 ,  3B201BB93 ,  3B201BB95 ,  3B201CC01 ,  3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007CS04 ,  3C007CT04 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007DS01 ,  3C007ES02 ,  3C007ES17 ,  3C007ET02 ,  3C007EU17 ,  3C007FS01 ,  3C007NS12 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA13 ,  5F031GA02 ,  5F031GA07 ,  5F031GA08 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA35 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031MA03 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24
引用特許：
出願人引用 (15件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM