特許
J-GLOBAL ID：200903032687835390

感光性樹脂組成物

発明者：
漢那 慎一

漢那 慎一 について

, 
水谷 一良

水谷 一良 について

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佐々木 知也

佐々木 知也 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  栗宇 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-167393
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012898
出願日： 2002年06月07日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】160nm以下、より具体的にはF2エキシマレーザー光(157nm)の光源使用時に十分な透過性を示し、且つラインエッジラフネス、現像時間依存性が小さく優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】特定の構造を有する酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解度を増大する樹脂、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物として、活性光線または放射線の照射により少なくとも1つのフッ素原子で置換された脂肪族あるいは芳香族のスルホン酸を発生する化合物、活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を含有しない脂肪族あるいは芳香族のスルホン酸を発生する化合物、活性光線または放射線の照射により少なくとも1つのフッ素原子で置換された脂肪族あるいは芳香族のカルボン酸を発生する化合物、及び活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を含有しない脂肪族あるいは芳香族のカルボン酸を発生する化合物から選ばれる少なくとも2種の化合物、溶剤、及び、界面活性剤を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)一般式(Z)で表される基を有する繰り返し単位と酸の作用により分解してアルカリ可溶性基となる基を有する繰り返し単位を含有する、酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解度を増大する樹脂、 (B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物として、(B1)活性光線または放射線の照射により少なくとも1つのフッ素原子で置換された脂肪族あるいは芳香族のスルホン酸を発生する化合物、 (B2)活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を含有しない脂肪族あるいは芳香族のスルホン酸を発生する化合物、 (B3)活性光線または放射線の照射により少なくとも1つのフッ素原子で置換された脂肪族あるいは芳香族のカルボン酸を発生する化合物、及び (B4)活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を含有しない脂肪族あるいは芳香族のカルボン酸を発生する化合物 から選ばれる少なくとも2種の化合物、 (C)溶剤、及び (D)界面活性剤 を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F7/039 ,  C08F12/14 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027
FI (4件)：
G03F7/039 601 ,  C08F12/14 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R
Fターム (43件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025FA17 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL08R ,  4J100AR11P ,  4J100AR11Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BB07P ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC09R ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA38 ,  4J100JA37
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (14件)
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