感光性樹脂組成物除去用洗浄剤組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木崇生 , 梶崎弘一 , 尾崎雄三 , 谷口俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-213791
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055886
出願日： 2004年07月22日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】液晶ディスプレイデバイスの製造に使用される基板、特にカラー大型ガラス基板のエッジ部及び後面部に使用されて、不必要に付着されたカラーレジストを短時間で効率的に除去することができ、界面の段差を減らして、現像後に基板をきれいに洗浄することができる優れた洗浄性を有する、感光性樹脂組成物除去用洗浄剤組成物を提供する。【解決手段】本発明は、半導体素子及び液晶ディスプレイ素子の製造工程で使用される感光性樹脂組成物除去用洗浄剤組成物に関し、より詳しくは、a)アルキルアミド;及びb)ケトン;を含む洗浄剤組成物に関する。本発明の洗浄剤組成物は、c)ペルフルオロアルキルアミンオキシドをさらに含むことができる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

a)アルキルアミド;及び b)ケトン; を含むことを特徴とする、感光性樹脂組成物除去用洗浄剤組成物。

IPC (3件)：

G03F7/42 , H01L21/027 , H01L21/304

FI (3件)：

G03F7/42 , H01L21/304 647A , H01L21/30 572B

Fターム (7件)：

2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096DA04 , 2H096DA10 , 2H096JA02 , 2H096LA03 , 5F046MA02

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平4-49938号公報
特開平4-42523号公報
特開平4-130715号公報

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審査官引用 (10件)

特開昭52-100235
特開昭61-172147
金属腐食を減少させるための還元剤を含有しているフォトレジストストリッパー
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-268033 出願人：ジェイティ-ベ-カ-インコ-ポレイテッド

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