特許
J-GLOBAL ID:200903045112502385
電子部品の外観検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
宇都宮 正明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-339732
公開番号(公開出願番号):特開2001-155160
出願日: 1999年11月30日
公開日(公表日): 2001年06月08日
要約:
【要約】【課題】 電子部品の外観検査において、電子部品の複数の面におけるリード位置を、同時に精度良く検査すること。【解決手段】 異なる波長の光を異なる方向から電子部品に照射するための複数の光源21、22と、これらの光源に対応して配置され、それぞれの光源に対応する波長の光を透過させてそれ以外の波長の光を減衰させる複数の光学フィルタ41、42と、これらの光学フィルタをそれぞれ透過した光を撮像するための少なくとも1つの撮像手段51、52とを具備する。
請求項(抜粋):
電子部品の外観検査装置であって、異なる波長の光を異なる方向から前記電子部品に照射するための複数の光源と、前記複数の光源に対応して配置され、それぞれの光源に対応する波長の光を透過させてそれ以外の波長の光を減衰させる複数の光学フィルタと、前記複数の光学フィルタをそれぞれ透過した光を撮像するための少なくとも1つの撮像手段と、を具備することを特徴とする前記装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G06F 15/62 405 A
, G01B 11/24 K
Fターム (23件):
2F065AA56
, 2F065BB05
, 2F065CC17
, 2F065DD03
, 2F065FF04
, 2F065GG07
, 2F065GG12
, 2F065GG23
, 2F065HH03
, 2F065HH14
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ13
, 2F065KK03
, 2F065LL20
, 2F065LL22
, 2F065QQ21
, 2F065RR05
, 2F065UU07
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057BA15
, 5B057DA03
引用特許:
審査官引用 (13件)
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特許第2782759号
-
特開平2-216407
-
表面検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-345736
出願人:株式会社トプコン
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