特許
J-GLOBAL ID：200903047345010795

製造装置

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について

, 
村上 雅一

村上 雅一 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-140481
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047452
出願日： 2003年05月19日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】蒸着材料の利用効率を高め、有機発光素子を有する発光装置の製造コストを低減するとともに、発光装置の製造に要する製造時間を短縮させることを課題とする。【解決手段】本発明により、複数の成膜室を備えたマルチチャンバー型の製造装置において、第1の基板に蒸着する第1の成膜室と、第2の基板に蒸着する第2の成膜室とを有し、それぞれの成膜室では複数の有機化合物層を積層することによってスループットを向上させる。さらに、複数の成膜室でそれぞれの基板に同一の蒸着を並行(並列)して行いつつ、他の成膜室をクリーニンク ゙することもできる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ロード室、該ロード室に連結された搬送室、及び該搬送室に連結された複数の成膜室とを有する製造装置であって、 前記複数の成膜室は、前記成膜室内を真空にする真空排気処理室と連結され、マスクと基板の位置あわせを行うアライメント手段と、蒸着源と、該蒸着源を加熱する手段とを有し、 前記複数の成膜室のうち、少なくとも2つの成膜室では並行してそれぞれの成膜室に搬入された基板上に蒸着が行われることを特徴とする製造装置。
IPC (3件)：
H05B33/10 ,  C23C14/56 ,  H05B33/14
FI (3件)：
H05B33/10 ,  C23C14/56 G ,  H05B33/14 A
Fターム (11件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029HA01 ,  4K029KA01 ,  4K029KA09
引用特許：
審査官引用 (17件)
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