特許
J-GLOBAL ID：200903049074696605
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
渡邉 一平
, 木川 幸治
, 菅野 重慶
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-189133
公開番号（公開出願番号）：特開2007-079552
出願日： 2006年07月10日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】感度等に優れ、パターンのラインエッジラフネスが小さく、パターンの倒れを抑制することができる等の特性を有するレジストである感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】式(1-1)及び式(1-2)で示す繰り返し単位を有する酸解離性基含有重合体と、式(1-3)で示す添加剤と、酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物。 【化1】〔式(1-1)の、R1はメチル基等、Xは所定の多環型脂環式炭化水素基等を表す。式(1-2)の、R1はメチル基等、Zは酸により脱離可能な酸解離性基を示す。式(1-3)の、nは1〜8の整数を、Aは相互に独立にヒドロキシル基等を示す。〕【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1-1)で示される繰り返し単位、および酸解離性基を有する下記一般式(1-2)で示される繰り返し単位を有する酸解離性基含有重合体と、(B)下記一般式(1-3)で示される添加剤と、(C)放射線の照射により酸を発生する酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039
, G03F 7/004
, H01L 21/027
G03F7/039 601
, G03F7/004 501
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CC20
, 2H025FA12
, 2H025FA17
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (8件)
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