特許
J-GLOBAL ID：200903052834426280

投影光学系及びそれを用いた投影露光装置

発明者：
加藤 隆志

加藤 隆志 について

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寺沢 千明

寺沢 千明 について

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石井 弘之

石井 弘之 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167421
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352666
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：
【要約】【課題】非球面を用いることによりNa0.65程度、露光領域φ27.3mm程度を達成した高NAで広い露光領域を有してレチクルパターンを半導体ウエハに投影露光することができる投影露光装置を得ること。【解決手段】物体の像を像面に投影する投影光学系において、該投影光学系は物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群L1と、負の屈折力を有する第2レンズ群L2と、正の屈折力を有する第3レンズ群L3と、負の屈折力を有する第4レンズ群L4と、正の屈折力を有する第5レンズ群L5と、負の屈折力を有する第6レンズ群L6と、正の屈折力を有する第7レンズ群L7、そして非球面を少なくとも1面有し、該非球面のうち少なくとも1面の非球面は該非球面の、光軸からレンズ有効径までの最大非球面量をΔASPH、物像間距離をTTとしたとき|ΔASPH/L|>1×10-6を満足すること。
請求項（抜粋）：
物体の像を像面に投影する投影光学系において、該投影光学系は物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群L1と、負の屈折力を有する第2レンズ群L2と、正の屈折力を有する第3レンズ群L3と、負の屈折力を有する第4レンズ群L4と、正の屈折力を有する第5レンズ群L5と、負の屈折力を有する第6レンズ群L6と、正の屈折力を有する第7レンズ群L7、そして非球面を少なくとも1面有し、該非球面のうち少なくとも1面の非球面は該非球面の、光軸からレンズ有効径までの最大非球面量をΔASPH、物像間距離をLとしたとき|ΔASPH/L|>1×10-6を満足することを特徴とする投影光学系。
IPC (4件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527
Fターム (33件)：
2H087KA21 ,  2H087NA02 ,  2H087PA15 ,  2H087PA17 ,  2H087PB16 ,  2H087PB17 ,  2H087PB19 ,  2H087PB20 ,  2H087QA01 ,  2H087QA05 ,  2H087QA12 ,  2H087QA13 ,  2H087QA14 ,  2H087QA21 ,  2H087QA22 ,  2H087QA25 ,  2H087QA26 ,  2H087QA32 ,  2H087QA33 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087RA32 ,  2H087UA03 ,  2H087UA04 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (10件)
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