構造体の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-036791
公開番号（公開出願番号）：特開2006-219752
出願日： 2005年02月14日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：

【課題】ナノインプリント用モールドとして使用可能な構造体を容易に製造する方法を提供する。【解決手段】無電解めっき反応の触媒13を含む樹脂12に構造体14を圧着し剥離して該樹脂12に該構造体14の構造を転写する工程と、該樹脂12の転写された構造15にめっきを行いめっき物16を形成する工程と、該めっき物16と該樹脂12を分離する工程とを有する構造体の製造方法。前記触媒の主成分がイオンであり、樹脂に構造体を圧着した後からめっきを行なう間にイオンを還元させて金属としてもよい。前記触媒の主要元素がPdであることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

無電解めっき反応の触媒を含む樹脂に構造体を圧着し剥離して該樹脂に該構造体の構造を転写する工程と、該構造の転写された樹脂にめっきを行いめっき物を形成する工程と、該めっき物と該樹脂を分離する工程とを有することを特徴とする構造体の製造方法。

IPC (2件)：

C23C 18/20 , H01L 21/027

FI (2件)：

C23C18/20 Z , H01L21/30 502D

Fターム (21件)：

4K022AA16 , 4K022AA18 , 4K022AA20 , 4K022AA23 , 4K022AA37 , 4K022AA50 , 4K022BA14 , 4K022BA31 , 4K022BA32 , 4K022BA38 , 4K022CA06 , 4K022CA11 , 4K022CA15 , 4K022CA21 , 4K022DA01 , 4K022DB02 , 4K022DB07 , 4K022EA04 , 5F046AA25 , 5F046AA28 , 5F046CB27

引用特許：

出願人引用 (2件)

多孔性陽極酸化アルミナ膜の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-229314 出願人：日本電信電話株式会社
スタンパとスタンパを用いたパターン転写方法及び転写パターンによる構造体の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-224327 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (17件)

フレネルレンズ電鋳用母型及びこれを用いた金型の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-324676 出願人：凸版印刷株式会社
特開平2-153087
金型および金型製造方法、ならびに、母型形成方法、電鋳品製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-084901 出願人：株式会社ニコン

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