特許
J-GLOBAL ID：200903065328683334

パターンマッチング装置およびそれを用いた半導体検査システム

発明者：
豊田 康隆

豊田 康隆 について

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酢谷 拓路

酢谷 拓路 について

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松岡 良一

松岡 良一 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-314853
公開番号（公開出願番号）：特開2007-121147
出願日： 2005年10月28日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】CADデータの形状とホールパターンの形状が大きく異なる場合でも、正確に位置情報を検出するパターンマッチング装置を提供する。【解決手段】ホールパターンを撮影した画像データ105と、対応するCADデータ104と、を入力可能とする信号入力インターフェース101と、中心位置検出データ111を生成するCADホールパターン中心位置検出手段107と、画像データからパターンデータ112を抽出するパターン抽出手段108と、中心位置データ113を生成する画像ホールパターン中心位置検出手段109と、中心位置データ同士の照合処理により、CADデータに対応する画像データの位置データ114を検出する照合処理手段110と、で構成されたデータ演算部102と、位置データを出力する信号出力インターフェース103と、で構成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ホールパターンを撮影した画像データに基づいてパターンデータを抽出するパターン抽出部と、 前記パターンデータに基づいてホールパターンの第1の中心位置データを検出する第1の中心位置データ検出部と、 前記ホールパターンのCADデータに基づいて、CADデータのホールパターンの第2の中心位置データを検出する第2の中心位置データ検出部と、 前記第1の中心位置データと、前記第2の中心位置データとを照合し、前記CADデータに対応する前記画像データの位置情報を検出する第1の照合部と を備えたことを特徴とするパターンマッチング装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24 ,  G01N 21/956 ,  G06T 1/00 ,  H01L 21/66 ,  G06T 7/60
FI (6件)：
G01B11/24 F ,  G01N21/956 A ,  G06T1/00 305C ,  G01B11/24 K ,  H01L21/66 J ,  G06T7/60 150C
Fターム (53件)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065AA22 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC17 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR05 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC04 ,  2G051CA20 ,  2G051ED04 ,  2G051ED11 ,  2G051ED23 ,  2G051GD05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ27 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DC05 ,  5B057DC34 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA62 ,  5L096FA69 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 画像データ比較装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-049264   出願人：富士通株式会社
  • ウェーハ検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-098125   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
審査官引用 (15件)
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