特許
J-GLOBAL ID：200903066520237590

基板検査装置及びこれに用いられる接続治具の製造方法

発明者：
戒田 理夫

戒田 理夫 について

, 
沼田 清

沼田 清 について


出願人/特許権者：
日本電産リード株式会社

日本電産リード株式会社 について


代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  植木 久一 ,  伊藤 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-412409
公開番号（公開出願番号）：特開2005-172603
出願日： 2003年12月10日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】 検査用の接触子と検査処理部との接続工数を低減することができる基板検査装置を提供する。【解決手段】 複数の接触子31と、複数の接触子31を介して複数の検査点から検査用の信号を取得し、当該取得した信号に基づいて基板の検査を行うスキャナー4と、各接触子31の基端部とスキャナー4との間を電気的に接続するピッチ変換ブロック33とを備え、スキャナー4は複数の電極部41を備え、ピッチ変換ブロック33は、複数の接触子31における基端部の間隔を、複数の電極部41の間隔に変換するための部材であって、複数の接触子31それぞれの基端部とそれぞれ接触するべく配列された上面電極部35と、複数の電極部41とそれぞれ接触するべく配列された下面電極部37と、上面電極部35及び下面電極部37をそれぞれ接続する導電部36とが一体に固結されているものとした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板に設けられた配線パターン上の複数の検査点から検査用の信号を取得し、当該取得した信号に基づいて基板の検査を行う検査処理部と、複数の検査点と前記検査処理部との間を電気的に接続する接続治具とを備え、 前記検査処理部は、前記複数の検査用の信号を受け付けるための複数の電極部を備え、 前記接続治具は、前記複数の検査点の間隔を、前記複数の電極部の間隔に変換するための部材であって、前記複数の検査点とそれぞれ接触するべく配列された第1の導電部と、前記複数の電極部とそれぞれ接触するべく配列された第2の導電部と、前記第1及び第2の導電部をそれぞれ接続する導電部とが一体に固結されているものであることを特徴とする基板検査装置。
IPC (4件)：
G01R31/02 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  H05K3/00
FI (4件)：
G01R31/02 ,  G01R1/073 D ,  H05K3/00 T ,  G01R31/28 K
Fターム (15件)：
2G011AA02 ,  2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AE01 ,  2G011AF07 ,  2G014AB21 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10 ,  2G132AA00 ,  2G132AF02 ,  2G132AF03 ,  2G132AF04 ,  2G132AF07 ,  2G132AL03 ,  2G132AL09
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 基板検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-320523   出願人：日本電産リード株式会社
審査官引用 (18件)
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