特許
J-GLOBAL ID：200903067723752046

感放射線性樹脂組成物

発明者：
西村 幸生

西村 幸生 について

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石井 寛之

石井 寛之 について

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佐野 公康

佐野 公康 について

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小林 英一

小林 英一 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-009190
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215804
出願日： 2002年01月17日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：
【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 アルキルアダマンチル(メタ)アクリレート由来の繰り返し単位およびメバロニックラクトン(メタ)アクリレート由来の繰り返し単位を含有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物を提供する。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(I-1)で表される繰り返し単位および下記一般式(I-2)で表される繰り返し単位を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(I-1)および一般式(I-2)において、R1 およびR3 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、R2 およびR4 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示す。〕
IPC (5件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/16 ,  C08F220/28 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/16 ,  C08F220/28 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (61件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AG02S ,  4J100AG04S ,  4J100AJ08S ,  4J100AJ09S ,  4J100AK31S ,  4J100AK32S ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL09S ,  4J100AL29S ,  4J100AL62S ,  4J100AL66S ,  4J100AM01S ,  4J100AM02S ,  4J100AM03S ,  4J100AM14S ,  4J100AM15S ,  4J100AM19R ,  4J100AM33S ,  4J100AQ08S ,  4J100AQ12S ,  4J100AQ19S ,  4J100BA03R ,  4J100BA04S ,  4J100BA11Q ,  4J100BA15S ,  4J100BA16S ,  4J100BB01S ,  4J100BC02S ,  4J100BC03S ,  4J100BC04S ,  4J100BC09P ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC53Q ,  4J100BD12R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA28 ,  4J100DA39 ,  4J100FA03 ,  4J100JA37
引用特許：
審査官引用 (10件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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